1

Mikroskop elektronowy

[

edytuj

]

Z Wikipedii

Skocz do:

nawigacji

,

szukaj

Elektronowy mikroskop transmisyjny

Mikroskop elektronowy —

mikroskop

wykorzystujący do obrazowania wiązkę

elektronów

,

który pozwala na dostrzeganie obiektów nawet milion razy cieńszych niż ludzki

włos

(0,1

nm

). Mikroskop elektronowy pozwala badać strukturę

materii

na poziomie

atomowym

.

Dzięki niemu możliwa jest obserwacja

organelli komórkowych

i

wirusów

. Próbka znajduje

się w

próżni

i najczęściej jest pokrywana warstewką

metalu

. Wiązka elektronów przemiata

badany obiekt i trafia do

detektorów

. Urządzenia elektroniczne odtwarzają na podstawie

zmierzonych sygnałów obraz badanej próbki. Pierwszy mikroskop elektronowy skonstruował
w 1931 r.

Ernst Ruska

razem z

Maksem Knollem

w

Berlinie

.

Spis treści

2

[

ukryj

]

•

1 Podstawy fizyczne

•

2 Typy mikroskopów elektronowych

o

2.1 Elektronowy mikroskop transmisyjny

o

2.2 Elektronowy mikroskop skaningowy

o

2.3 Mikroskop jonowy

•

3 Zastosowania

•

4 Zobacz też

Podstawy fizyczne

[

edytuj

]

Podstawowym parametrem mikroskopu jest

zdolność rozdzielcza

, która określa rozmiary

najmniejszych szczegółów jakie da się dostrzec w badanej próbce. Zdolność rozdzielczą
mikroskopu optycznego ogranicza

dyfrakcja

(

zjawisko fizyczne

zmiany kierunku

rozchodzenia się

fali

) promieni tworzących obraz. Im mniejsza jest długość fali, tym mniejszy

obiekt można obserwować. Granica rozdzielczości mikroskopu optycznego wynosi około 200
nm (z wyjątkiem

SNOM

).

W roku

1905

Albert Einstein

wyjaśnił zjawiska związane z

efektem fotoelektrycznym

,

proponując istnienie hipotetycznych cząstek światła nazwanych potem

fotonami

. Światło

ujawniło swoją

dwoistą naturę

. W pewnych sytuacja zachowuje się jak fala,w innych jak

strumień cząstek. W roku

1924

Louis de Broglie

zaproponował

hipotezę

, według której

cząstki elementarne miały podobną dwoistą naturę. Każda z nich jest zarówno cząstką jak i
falą, której długość zależy od

pędu

cząstki. Pęd fotonów jest niewielki i dlatego długość fali

świetlnej jest relatywnie duża w skali mikroświata. Nawet najlżejsze cząstki elementarne
mają pęd znacznie większy od fotonów. W ten sposób narodził się pomysł wykorzystania w
mikroskopii elektronów.

Pierwszy mikroskop elektronowy skonstruował w

1931

roku

Ernst Ruska

razem z

Maksem

Knollem

w

Berlinie

. Na Uniwersytecie w

Aberdeen

George Paget Thomson

przepuścił

wiązkę elektronów przez cienką folię metalową i zaobserwował obrazy dyfrakcyjne fal
materii. W Laboratoriach firmy Bell

Clinton Joseph Davisson

i

Lester Halbert Germer

prześwietli wiązką elektronów próbkę kryształu uzyskując obrazy dyfrakcyjne. W roku

1937

Thomson i Davisson wspólnie otrzymali za swoje prace

Nagrodę Nobla z fizyki

.

Typy mikroskopów elektronowych

[

edytuj

]

Ogólnie mikroskopy elektronowe można podzielić na zwykłe oraz skaningowe mikroskopy
elektronowe. W mikroskopach zwykłych jednocześnie analizowany jest duży obszar
powierzchni preparatu i tworzony jest jego obraz. W mikroskopach skaningowych w danym
momencie analizowany jest niewielki obszar, który jest traktowany jako punkt. Tworzenie
obrazu następuje poprzez zebranie informacji z kolejno analizowanych punktów.

Za pierwowzór i jednocześnie najprostszy mikroskop elektronowy uznawano (choć obecnie
rzadko jest wymieniany wśród mikroskopów elektronowych) jest

projektor elektronowy

zwany też mikroskopem polowym.

3

Elektronowy mikroskop transmisyjny

[

edytuj

]

Uproszczony schemat mikroskopu elektronowego (mikroskop transmisyjnego)

Elektronowy mikroskop transmisyjny (en: Transmission Electron Microscope) - rejestrowane
są elektrony przechodzące przez próbkę. Próbka w takim mikroskopie musi być cienką płytką
o grubości mniejszej od 0,1 mikrometra. Przygotowanie takiej próbki jest trudne i znacznie
ogranicza zastosowania mikroskopu.

Najważniejszym elementem mikroskopu elektronowego jest kolumna mikroskopu (1), która
zawiera

działo elektronowe

(2) wytwarzające (np. w wyniku

termoemisji

) wiązkę

elektronów(3). Wstępnie uformowana wiązka elektronów w obszarze pomiędzy

katodą

(4) i

anodą

(5) zostaje rozpędzona uzyskując energię: E = eU, gdzie e jest ładunkiem elektronu, a U

napięciem

między katodą i anodą. Zwiększenie napięcia pozwala na zwiększenie pędu

elektronów, co zmniejsza długości fali. Przykładowo, gdy napięcie przyspieszające U=
300kV , wtedy długość fali elektronów λ = 0,00197 nm. Dla takiego napięcia prędkość
elektronów w kolumnie mikroskopu v =0,776c, gdzie c jest

prędkością światła w próżni

. Aby

elektrony mogły przebyć drogę od działa elektronowego do ekranu konieczne jest
utrzymywanie w kolumnie bardzo dobrej próżni.

Soczewkom

optycznym odpowiada

odpowiednio ukształtowane

pole magnetyczne

zmieniające bieg elektronów w cewkach

ogniskujących(6). Istotną zaletą soczewek magnetycznych jest możliwość płynnej zmiany ich
ogniskowych poprzez regulację natężenia prądu przypływającego przez soczewkę.

Gdy rozpędzona wiązka elektronów pada na preparat zachodzi szereg efektów, które są
wykorzystywane w różnych urządzeniach badawczych. W przypadku dostatecznie cienkich
preparatów część elektronów przechodzi przez preparat (7) i jest wykorzystywana w
transmisyjnych mikroskopach elektronowych. Elektrony mogą być odbite od preparatu lub
mogą wybijać z preparatu elektrony zwane wtórnymi. Te dwa rodzaje elektronów
wykorzystuje się w mikroskopach odbiciowych. Elektrony padające na preparat mogą

4

ponadto wzbudzać elektrony atomów badanej próbki, które następnie emitują rentgenowskie
promieniowanie charakterystyczne dla atomów próbki. Wiele mikroskopów elektronowych,
zarówno transmisyjnych jak i skaningowych, wyposażonych jest w spektrometr(y) EDS (en:
Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) i/lub WDS (en: Wavelength Dispersive X-Ray
Spectrometry), pozwalające na wykonanie analizy składu chemicznego próbki.

Wiązka elektronowa po przejściu przez preparat może być kształtowana podobnie jak
promienie świetlne, z wykorzystaniem układu

obiektyw

(8) -

okular

(9). W przypadku

elektronów zamiast szklanych elementów optycznych wykorzystywane są cewki zmieniające
bieg naładowanych cząstek. Mikroskop może pracować w trybie obrazu wówczas wiązka
tworzy obraz preparatu na detektorze (10). Mikroskop pracujący w trybie dyfrakcji może nie
mieć cewek obiektywu i okulary, obraz tworzą elektrony w wyniku zjawiska dyfrakcji na
strukturze próbki. W pierwszych konstrukcjach detektor był ekranem

elektronoluminescencyjny

(obecnie też stosowane), w obecnych konstrukcjach detektor w

postaci matrycy

CCD

, pobudzanej elektronami, umożliwia odczytanie obrazu jako sygnałów

elektrycznych, a odpowiednia aparatura pomiarowa pozwala na zapisywanie informacji i
tworzenie obrazu próbki.

Elektronowy mikroskop skaningowy

[

edytuj

]

SEM,

elektronowy mikroskop skaningowy

(en: Scanning Electron Microscope) -

rejestrowany jest potencjał lub prąd pomiędzy próbką a sondą skanującą - punkt po punkcie
dla całej próbki:

•

skaningowy mikroskop elektronowy emisyjny - rejestracja elektronów
przepływających pomiędzy sondą a próbką a emitowanych z sondy

•

skaningowy mikroskop polowy - emisja elektronów jest emisją polową, zachodzi w
wyniku silnego pola elektrycznego.

•

skaningowy mikroskop tunelowy

(

STM

, (en:Scanning Tunneling Microscope) - rodzaj

SPM

.

Mikroskop jonowy

[

edytuj

]

W celu zmniejszenia efektów falowych w miejsce elektronów używa się

jonów

.

Zastosowania

[

edytuj

]

Za pomocą mikroskopów elektronowych uzyskuje się niezwykle efektowne obrazy
praktycznie we wszystkich dziedzinach

nauki

. Ograniczeniem jest jednak konieczność

wykonywania pomiaru w próżni (problem w przypadku próbek biologicznych) oraz
przewodnictwo elektryczne próbki. W przypadku mikroskopii transmisyjnej wykonuje się
tzw. repliki: próbkę badaną napyla się (w tzw.

napylarce próżniowej

) cienką warstwą metalu

(najlepiej

złotem

) a następne usuwa oryginalną próbkę i wykonuje obraz repliki. W

przypadku mikroskopii skaningowej próbkę również napyla się

metalem

, ale nie trzeba

usuwać próbki właściwej. Zaletą tak uzyskanych zmodyfikowanych próbek jest ich trwałość i
możliwość powtarzania obrazowania, co nie zawsze możliwe jest w innych metodach
mikroskopowych.

5

Zobacz też

[

edytuj

]

•

działo elektronowe

•

mikroskop optyczny

•

SPM

(

mikroskop sił atomowych

i

skaningowy mikroskop tunelowy

)

•

Elektronowy mikroskop skaningowy

•

Mikroskop jonowy

Źródło: "

http://pl.wikipedia.org/wiki/Mikroskop_elektronowy

"

Kategoria

:

Mikroskopy

•

Tę stronę ostatnio zmodyfikowano 15:26, 26 kwi 2008.

•

Tekst udostępniany na licencji

GNU Free Documentation License

. (patrz:

Prawa

autorskie

)

Wikipedia® jest zarejestrowanym znakiem towarowym

Wikimedia Foundation

.

Możesz

przekazać dary pieniężne Fundacji Wikimedia

.

•

Zasady ochrony prywatności

•

O Wikipedii

•

Informacje prawne

Electron microscope

From Wikipedia, the free encyclopedia

•

Ten things you may not know about images on Wikipedia

•

Jump to:

navigation

,

search

This article needs additional

citations

for

verification

.

Please help

improve this article

by adding

reliable references

. Unsourced material may be

challenged

and removed. (November 2006)

An electron microscope is a type of

microscope

that uses

electrons

to illuminate a specimen

and create an enlarged image. Electron microscopes have much greater

resolving power

than

light microscopes

and can obtain much higher

magnifications

. Some electron microscopes can

magnify specimens up to 2 million times, while the best light microscopes are limited to
magnifications of 2000 times. Both electron and light microscopes have resolution limitations,
imposed by their wavelength. The greater resolution and magnification of the electron
microscope is due to the wavelength of an

electron

, its

de Broglie wavelength

, being much

smaller than that of a

light photon

,

electromagnetic radiation

.

6

The electron microscope uses

electrostatic

and

electromagnetic

lenses in forming the image

by controlling the electron beam to focus it at a specific plane relative to the specimen in a
manner similar to how a light microscope uses glass lenses to focus light on or through a
specimen to form an image.

Contents

[

hide

]

•

1 History

•

2 Electron microscope manufacturers

•

3 Types

o

3.1 Transmission Electron Microscope (TEM)

o

3.2 Scanning Electron Microscope (SEM)

o

3.3 Reflection Electron Microscope (REM)

o

3.4 Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)

•

4 Sample Preparation

•

5 Disadvantages

•

6 Electron microscopy application areas

•

7 See also

•

8 References

•

9 External links

[

edit

] History

An image of an

ant

from a scanning electron microscope

The first electron microscope prototype was built in

1931

by the German engineers

Ernst

Ruska

and

Max Knoll

.

[1]

It was based on the ideas and discoveries of French physicist

Louis

de Broglie

[

citation needed

]

. Although it was primitive

[

citation needed

]

and not fit for practical use

[

citation

needed

]

, the instrument was still capable of magnifying objects by four hundred times.

Reinhold Rudenberg

, the research director of

Siemens

, had patented the electron microscope

in 1931, although Siemens was doing no research on electron microscopes at that time. In
1937 Siemens began funding Ruska and

Bodo von Borries

to develop an electron microscope.

7

Siemens also employed Ruska's brother

Helmut

to work on applications, particularly with

biological specimens.

[2][3]

In the same decade of 1930s

Manfred von Ardenne

pioneered the

scanning electron

microscope

and his universal electron microscope.

[4]

Siemens produced the first commercial TEM in 1939, but the first practical electron
microscope had been built at the

University of Toronto

in

1938

, by

Eli Franklin Burton

and

students Cecil Hall,

James Hillier

, and Albert Prebus.

[5]

Although modern electron microscopes can magnify objects up to two million times, they are
still based upon Ruska's

prototype

. The electron microscope is an integral part of many

laboratories. Researchers use it to examine biological materials (such as

microorganisms

and

cells

), a variety of large

molecules

, medical

biopsy

samples,

metals

and

crystalline

structures,

and the characteristics of various surfaces. The electron microscope is also used extensively
for inspection, quality assurance and failure analysis applications in industry, including, in
particular,

semiconductor device fabrication

.

[

edit

] Electron microscope manufacturers

Major manufacturers include:

•

Delong Group

•

FEI Company

– USA (merged with

Philips

Electron Optics)

•

FOCUS GmbH

– Germany

•

Hitachi

– Japan

•

Nion Company

- USA

•

JEOL Ltd.

– Japan (Japan Electro Optics Laboratory)

•

TESCAN

– EU

•

Carl Zeiss NTS GmbH

- Germany

[

edit

] Types

[

edit

] Transmission Electron Microscope (TEM)

Main article:

Transmission electron microscopy

The original form of electron microscopy,

Transmission electron microscopy

(TEM) involves

a high

voltage

electron beam emitted by a

cathode

, usually a tungsten filament and focused by

electrostatic and

electromagnetic

lenses. The electron beam that has been transmitted through

a specimen that is in part transparent to electrons carries information about the inner structure
of the specimen in the electron beam that reaches the imaging system of the microscope. The
spatial variation in this information (the "image") is then magnified by a series of
electromagnetic lenses until it is recorded by hitting a fluorescent screen, photographic plate,
or light sensitive sensor such as a CCD (

charge-coupled device

) camera. The image detected

by the CCD may be displayed in real time on a monitor or computer.

Resolution of the TEM is limited primarily by

spherical aberration

, but a new generation of

aberration correctors have been able to partially overcome spherical aberration to increase
resolution. Software correction of spherical aberration for the High Resolution TEM

HRTEM

8

has allowed the production of images with sufficient resolution to show carbon atoms in
diamond separated by only 0.89

ångström

(89

picometers

) and atoms in silicon at 0.78

ångström (78 picometers)

[6][7]

at magnifications of 50 million times.

[8]

The ability to determine

the positions of atoms within materials has made the HRTEM an important tool for nano-
technologies research and development.

[

edit

] Scanning Electron Microscope (SEM)

Main article:

Scanning Electron Microscope

Unlike the TEM, where electrons of the high voltage beam form the image of the specimen,
the

Scanning Electron Microscope

(SEM)

[9]

produces images by detecting low energy

secondary electrons which are emitted from the surface of the specimen due to excitation by
the primary electron beam. In the SEM, the electron beam is rastered across the sample, with
detectors building up an image by mapping the detected signals with beam position.

Generally, the TEM resolution is about an order of magnitude greater than the SEM
resolution, however, because the SEM image relies on surface processes rather than
transmission it is able to image bulk samples and has a much greater depth of view, and so
can produce images that are a good representation of the 3D structure of the sample.

[

edit

] Reflection Electron Microscope (REM)

In addition there is a Reflection Electron Microscope (REM). Like TEM, this technique
involves electron beams incident on a surface, but instead of using the transmission (TEM) or
secondary electrons (SEM), the reflected beam is detected. This technique is typically coupled
with

Reflection High Energy Electron Diffraction

and Reflection high-energy loss spectrum

(RHELS). Another variation is Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy (SPLEEM),
which is used for looking at the microstructure of

magnetic domains

.

[10]

[

edit

] Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)

Main article:

Scanning Transmission Electron Microscope

The STEM rasters a focused incident probe across a specimen that (as with the TEM) has
been thinned to facilitate detection of electrons scattered through the specimen. The high
resolution of the TEM is thus possible in STEM. The focusing action (and aberrations) occur
before the electrons hit the specimen in the STEM, but afterward in the TEM. The STEM's
use of SEM-like beam rastering simplifies

annular dark-field imaging

, and other analytical

techniques, but also means that image data is acquired in serial rather than in parallel fashion.

[

edit

] Sample Preparation

9

An insect coated in gold for viewing with a scanning electron microscope.

Materials to be viewed under an electron microscope may require processing to produce a
suitable sample. The technique required varies depending on the specimen and the analysis
required:

•

Fixation for biological specimens.

•

Cryofixation – freezing a specimen so rapidly, to

liquid nitrogen

or even

liquid helium

temperatures, that the water forms

vitreous (non-crystalline) ice

. This preserves the

specimen in a snapshot of its solution state. An entire field called

cryo-electron microscopy

has branched from this technique. With the development of

cryo-electron microscopy of

vitreous sections

(CEMOVIS), it is now possible to observe virtually any biological specimen

close to its native state.

•

Dehydration – replacing

water

with organic solvents such as

ethanol

or

acetone

.

•

Embedding – infiltration of the tissue with a

resin

such as

araldite

or

epoxy

for sectioning.

After this embedding process begins, the specimen must be polished to a mirror-like finish
using ultra-fine abrasives. The polishing process must be performed carefully to minimise
scratches and other polishing artefacts that impose on image quality.

•

Sectioning – produces thin slices of specimen, semitransparent to electrons. These can be cut
on an

ultramicrotome

with a

diamond

knife to produce very thin slices.

Glass knives

are also

used because they can be made in the lab and are much cheaper.

•

Staining – uses heavy metals such as

lead

,

uranium

or

tungsten

to scatter imaging electrons

and thus give contrast between different structures, since many (especially biological)
materials are nearly "transparent" to electrons (weak phase objects). In biology, specimens
are usually stained "en bloc" before embedding and also later stained directly after
sectioning by brief exposure to aqueous (or alcoholic) solutions of the heavy metal stains.

•

Freeze-fracture or freeze-etch – a preparation method particularly useful for examining lipid
membranes and their incorporated proteins in "face on" view. The fresh tissue or cell
suspension is frozen rapidly (cryofixed), then fractured by simply breaking or by using a
microtome while maintained at liquid nitrogen temperature. The cold fractured surface
(sometimes "etched" by increasing the temperature to about -100°C for several minutes to
let some ice sublime) is then shadowed with evaporated platinum or gold at an average
angle of 45° in a high vacuum evaporator. A second coat of carbon, evaporated
perpendicular to the average surface plane is often performed to improve stability of the
replica coating. The specimen is returned to room temperature and pressure, then the
extremely fragile "pre-shadowed" metal replica of the fracture surface is released from the

10

underlying biological material by careful chemical digestion with acids, hypochlorite solution
or SDS detergent. The still-floating replica is thoroughly washed from residual chemicals,
carefully fished up on EM grids, dried then viewed in the TEM.

•

Ion Beam Milling – thins samples until they are transparent to electrons by firing

ions

(typically

argon

) at the surface from an angle and sputtering material from the surface. A

subclass of this is

Focused ion beam

milling, where

gallium

ions are used to produce an

electron transparent membrane in a specific region of the sample, for example through a
device within a microprocessor. Ion beam milling may also be used for cross-section polishing
prior to SEM analysis of materials that are difficult to prepare using mechanical polishing.

•

Conductive Coating – An ultrathin coating of electrically-conducting material, deposited
either by high vacuum evaporation or by low vacuum sputter coating of the sample. This is
done to prevent the accumulation of static electric fields at the specimen due to the electron
irradiation required during imaging. Such coatings include gold, gold/palladium, platinum,
tungsten, graphite etc. and are especially important for the study of specimens with the
scanning electron microscope. Another reason for coating, even when there is more than
enough conductivity, is to improve contrast, a situation more common with the operation of
a FESEM (field emission SEM). When an osmium coater is used, a layer far thinner than
would be possible with any of the previously mentioned sputtered coatings is possible.

[3]

[

edit

] Disadvantages

Pseudocolored SEM image of the feeding basket of

Antarctic krill

. Real electron microscope images

do not carry any color information, they are

greyscale

. The first degree

filter setae

carry in v-form

two rows of second degree

setae

, pointing towards the inside of the

feeding basket

. The purple ball

is one micrometer in diameter. To display the total area of this structure one would have to tile this

image 7500 times.

Electron microscopes are expensive to build and maintain. They are dynamic rather than static
in their operation: requiring extremely stable high-voltage supplies, extremely stable currents
to each electromagnetic coil/lens, continuously-pumped high- or ultra-high-vacuum systems,
and a cooling water supply circulation through the lenses and pumps. As they are very
sensitive to vibration and external magnetic fields, microscopes aimed at achieving high
resolutions must be housed in buildings (sometimes underground) with special services. Some
desktop low voltage electron microscopes have TEM capabilities at very low voltages (around
5 kV) without stringent voltage supply, lens coil current, cooling water or vibration isolation
requirements and as such are much less expensive to buy and far easier to install and

11

maintain, but do not have the same ultra-high (atomic scale) resolution capabilities as the
larger instruments.

The samples largely have to be viewed in

vacuum

, as the molecules that make up air would

scatter the electrons. One exception is the environmental scanning electron microscope, which
allows hydrated samples to be viewed in a low-pressure (up to 20

torr

), wet environment.

Scanning electron microscopes usually image conductive or semi-conductive materials best.
Non-conductive materials can be imaged by an environmental scanning electron microscope.
A common preparation technique is to coat the sample with a several-nanometer layer of
conductive material, such as

gold

, from a sputtering machine; however, this process has the

potential to disturb delicate samples.

The samples have to be prepared in many ways to give proper detail, which may result in

artifacts

from such treatment. This raises the problem of distinguishing artifacts from

material, particularly in

biological

samples. It is generally believed by scientists working in

the field that as results from various preparation techniques have been compared and that
there is no reason that they should all produce similar artifacts, it is reasonable to believe that
electron microscopy features correlate with living cells. In addition, higher-resolution work
has been directly compared to results from

X-ray crystallography

, providing independent

confirmation of the validity of this technique.

[

citation needed

]

Since the 1980s, analysis of unfixed,

vitrified specimens has also become increasingly used by scientists, further confirming the
validity of this technique.

[11]

,

[12]

,

[13]

[

edit

] Electron microscopy application areas

Semiconductor and
data storage

•

Circuit edit

•

3D metrology

•

Defect analysis

•

Failure analysis

Biology and life
sciences

•

Cryobiology

•

Protein localization

•

Electron
tomography

•

Cellular
tomography

•

Cryo-electron
microscopy

•

Toxicology

•

Biological
production

and

viral load

monitoring

Research

•

Materials qualification

•

Materials and sample
preparation

•

Nanoprototyping

•

Nanometrology

•

Device testing and
characterization

Industry

•

High-resolution imaging

•

2D & 3D micro-
characterization

•

Macro sample to
nanometer metrology

•

Particle detection and
characterization

•

Direct beam-writing
fabrication

•

Dynamic materials
experiments

•

Sample preparation

12

•

Particle analysis

•

Pharmaceutical QC

•

3D tissue imaging

•

Virology

•

Vitrification

•

Forensics

•

Mining

(

mineral liberation

analysis

)

•

Chemical

/

Petrochemical

[

edit

] See also

•

Category:Electron microscope images

•

Field emission microscope

•

Scanning tunneling microscope

[

edit

] References

1.

^

Ernst Ruska Nobel Prize autobiography

2.

^

Ernst Ruska (1986).

Ernst Ruska Autobiography

(English)

. Nobel Foundation. Retrieved on

2007

-

02-06

.

3.

^

DH Kruger, P Schneck and HR Gelderblom (13). "

Helmut Ruska and the visualisation of

viruses

" (in English). The Lancet 355 (9216): 1713-1717.

doi

:10.1016/S0140-6736(00)02250-

9

.

4.

^

M von Ardenne and D Beischer (1940). "Untersuchung von metalloxud-rauchen mit dem

universal-elektronenmikroskop" (in German). Zeitschrift Electrochemie 46: 270-277.

5.

^

MIT biography of Hillier

6.

^

OÅM: World-Record Resolution at 0.78 Å

, (May 18, 2001) Berkeley Lab Currents.

7.

^

P. D. Nellist, M. F. Chisholm, N. Dellby, O. L. Krivanek, M. F. Murfitt, Z. S. Szilagyi, A. R.

Lupini, A. Borisevich, W. H. Sides, Jr., S. J. Pennycook (17). "

Direct Sub-Angstrom Imaging of a

Crystal Lattice

" (in English). Science 305 (5691): 1741.

doi

:

10.1126/science.1100965

.

8.

^

The Scale of Things

, DOE Office of Basic Energy Sciences (BES).

9.

^

SCANNING ELECTRON MICROSCOPY 1928 - 1965

10.

^

[1]

11.

^

[ADRIAN, M., DUBOCHET, J., LEPAULT, J. AND MCDOWALL, A. W. (1984). Cryoelectron

microscopy of viruses Nature 308, 32-36.]

12.

^

[2]

13.

^

[S. Kasas, G. Dumas, G. Dietler, S. Catsicas, M. Adrian (2003) Vitrification of cryoelectron

microscopy specimens revealed by high-speed photographic imaging Journal of Microscopy
211 (1) , 48–53 doi:10.1046/j.1365-2818.2003.01193.x ]

[

edit

] External links

•

Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM)

•

X-ray element analysis in electron microscope

– Information portal with X-ray microanalysis

and EDX contents

•

John H.L. Watson: Very early Electron Microscopy in the Department of Physics, the
University of Toronto – A personal recollection

•

Rubin Borasky Electron Microscopy Collection, 1930-1988

Archives Center, National Museum

of American History, Smithsonian Institution.

•

electron microscopy

Website of the ETH Zurich: Very good graphics and images, which

illustrate various procedures.

13

•

Albert Lleal microphotography. Scanning Electron Microphotography Coloured SEM

Retrieved from "

http://en.wikipedia.org/wiki/Electron_microscope

"

Categories

:

Microscopy

|

Scientific techniques

|

Nanotechnology

Hidden categories:

Articles needing additional references from November 2006

|

All articles with

unsourced statements

|

Articles with unsourced statements since March 2008

|

Articles with

unsourced statements since February 2008

•

This page was last modified on 15 May 2008, at 02:25.

•

All text is available under the terms of the

GNU Free Documentation License

. (See

Copyrights

for details.)
Wikipedia® is a registered trademark of the

Wikimedia Foundation, Inc

., a U.S. registered

501(c)(3)

tax-deductible

nonprofit

charity

.

•

Privacy policy

•

About Wikipedia

•

Disclaimers