Piezorezystancyjny czujnik 

ciśnienia w kolektorze 

dolotowym

Mateusz Prącik

Łukasz Kubis

Magda Grzesiak

Maska 1

Rys. 1 Okno  do trawienia membrany.

Wygląd struktury.

Maska 2

Rys. 2 Dyfuzja ścieżek. 

Rys. 3 Maska 3. Dyfuzja piezorezystorów. 

Maska 4

Rys. 4 -  Maska do ścieżek. 

Maska 5

Rys. 5 – Kontakty Al.