Piezorezystancyjny czujnik 

ciśnienia w kolektorze 

dolotowym

Mateusz Prącik

Łukasz Kubis

Magda Grzesiak

Konstrukcja

Piezorezystancyjny  czujnik  ciśnienia  wykorzystywany  w  motoryzacji  musi 
być  odporny  na  wstrząsy  oraz  wysokie  temperatury.  Aby  dostosować 
współczynnik rozszerzalności termicznej krzemu i obudowy użyjemy czujnika z 
płaską membraną osadzonym na szkle.

Rys. 1. Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia na szkle

Szklana  podstawa  o  wystarczającej  wysokości  izoluje  mechanicznie  strukturę 
krzemową  od  materiału  obudowy,  w  efekcie  naprężenia  powstałe  na  granicy 
szkło-obudowa niwelowane są w szkle i nie oddziałując na membranę czujnika.

Technologia

Membrany możemy wykonać na dwa sposoby:

a) Przed procesami technologicznymi formującymi 

piezorezystory w strukturze

b) Po procesach technologicznych formujących 

piezorezystory w strukturze

Nasza Firma postanowiła skupić się na wykonaniu membrany przed
 procesami technologicznymi formującymi piezorezystor.

Procesy technologiczne

1. Selekcja podłoży

2. Utlenianie wysokotemperaturowe

3. Fotolitografia okna do trawienia

4. Wytrawianie membrany płaskiej

5. Usunięcie tlenków oraz ponowne 

utlenianie

6. Fotolitografia II, dyfuzja piezorezystorów

7. Fotolitografia III, dyfuzja doprowadzeń 

p+

Zapraszamy do zamawiania 

wysokiej jakości 

piezorezystywnych czujników 

ciśnienia do Waszych aut.

Dziękujemy za uwagę.