Analiza spektroskopowa w mikroobszarach

1. W mikroskopie elektronowym skaningowym układ odchylania wiązki powoduje

sterowanie wiązką elektronów. W efekcie pozwala to na uzyskanie obrazu topografi

powierzchni oraz obrazu rozkładu pierwiastków w strefie powierzchniowej badanej

próbki.

2. Idea mikroanalizy rentgenowskiej polega na wzbudzaniu przez silnie

zogniskowaną wiązkę elektronów, o średnicy zwykle poniżej 1 µm,

charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego w wybranym miejscu badanej

próbki i na analizie tego promieniowania za pomocą spektrometru rentgenowskiego.

3. Metodą mikroanalizy rentgenowskiej można ustalić rodzaj pierwiastków, które

występują w wybranym mikroobszarze, ich powierzchniowe i liniowe rozmieszczenie

oraz precyzyjną informację o ilości poszczególnych pierwiastków.

4. Mikroanaliza rentgenowska jest to najłatwiejsza metoda analizy małych próbek.

Ich przygotowanie nie wymaga specjalnych technik.