Analiza spektroskopowa w mikroobszarach

1.   W   mikroskopie   elektronowym   skaningowym   układ   odchylania   wiązki   powoduje 
sterowanie wiązką elektronów. W efekcie pozwala to na uzyskanie obrazu topografii 
powierzchni oraz obrazu rozkładu pierwiastków w strefie powierzchniowej badanej 
próbki. 
2.   Idea   mikroanalizy   rentgenowskiej   polega   na   wzbudzaniu   przez   silnie 
zogniskowaną   wiązkę   elektronów,   o   średnicy   zwykle   poniżej   1  

µ

m, 

charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego w wybranym miejscu badanej 
próbki i na analizie tego promieniowania za pomocą spektrometru rentgenowskiego.

3.   Metodą   mikroanalizy   rentgenowskiej   można   ustalić   rodzaj   pierwiastków,   które 
występują w wybranym mikroobszarze, ich powierzchniowe i liniowe rozmieszczenie 
oraz precyzyjną informację o ilości poszczególnych pierwiastków. 
4. Mikroanaliza rentgenowska jest to najłatwiejsza metoda analizy małych próbek. 
Ich przygotowanie nie wymaga specjalnych technik

.