Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia w kolektorze dolotowym

background image

Piezorezystancyjny czujnik

ciśnienia w kolektorze

dolotowym

Mateusz Prącik

Łukasz Kubis

Magda Grzesiak

background image

Konstrukcja

Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia wykorzystywany w motoryzacji musi
być odporny na wstrząsy oraz wysokie temperatury. Aby dostosować
współczynnik rozszerzalności termicznej krzemu i obudowy użyjemy czujnika z
płaską membraną osadzonym na szkle.

Rys. 1. Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia na szkle

Szklana podstawa o wystarczającej wysokości izoluje mechanicznie strukturę
krzemową od materiału obudowy, w efekcie naprężenia powstałe na granicy
szkło-obudowa niwelowane są w szkle i nie oddziałując na membranę czujnika.

background image

Technologia

Membrany możemy wykonać na dwa sposoby:

a) Przed procesami technologicznymi formującymi

piezorezystory w strukturze

b) Po procesach technologicznych formujących

piezorezystory w strukturze

Nasza Firma postanowiła skupić się na wykonaniu membrany przed
procesami technologicznymi formującymi piezorezystor.

background image

Procesy technologiczne

1. Selekcja podłoży

2. Utlenianie wysokotemperaturowe

3. Fotolitografia okna do trawienia

4. Wytrawianie membrany płaskiej

5. Usunięcie tlenków oraz ponowne

utlenianie

6. Fotolitografia II, dyfuzja piezorezystorów

7. Fotolitografia III, dyfuzja doprowadzeń

p+

background image

Zapraszamy do zamawiania

wysokiej jakości

piezorezystywnych czujników

ciśnienia do Waszych aut.

Dziękujemy za uwagę.


Document Outline


Wyszukiwarka

Podobne podstrony:
Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia w kolektorze dolotowym (2)
Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia w kolektorze dolotowym (2)
Piezorezystancyjny czujnik cisnienia w kolektorze dolotowym
Piezorezystancyjny czujnik cisnienia w kolektorze dolotowym maski
~$ezorezystancyjny czujnik ciśnienia w kolektorze dolotowym
Czujnik ciśnienia w układzie dolotowym
Czujnik ciśnienia w układzie dolotowym
C5 (X7) B1HG012VP0 1 22 10 2007 Demontaż montaż Czujnik temperatury powietrza dolotowego Czujni
C5 (X7) B1HG015WP0 0 21 11 2007 Demontaż Montaż Czujnik ciśnienia powietrza dolotowego
Sprawdzanie czujnika ciśnienia w kolektorze ssącym
czujnik cisnienia spalin
Diagnostyka silnika o ZI (czujnik ciśnienia sprężania)
Czujnik ciśnienia oleju
Czujniki ciśnienia wersja pisana
407 B1FD18K1 Sprawdzenie Cisnienie oleju (Bez czujnika cisnienia oleju ) Nieznany
czujnik ciśnienia w kołach Citroen? Citroen
czujnik ciśnienia
Czujniki ciśnienia, politechnika łódzka, inżynieria chemiczna i procesowa, rok I semestr 1, pomiary

więcej podobnych podstron