Mikroelektronika

Mikroelektronika

TECHNOLOGIA

TECHNOLOGIA

GRUBOWARSTWOWA

GRUBOWARSTWOWA

WYKŁAD 4

WYKŁAD 4

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

Plan wykładu:

Plan wykładu:

1. Informacje ogólne

1. Informacje ogólne

2.

2.

Etapy wytwarzania

Etapy wytwarzania

3. Układy wysokotemperaturowe

3. Układy wysokotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

(polimerowe)

(polimerowe)

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

(LTCC)

(LTCC)

Etapy

wytwarzania

PODŁOŻA

OBUDOWA

TEST

CIĘCIE

MONTAŻ

KOREKCJA

WYPALANIE

SUSZENIE

SITODRUK

SITA

PROJEKT

PASTY

WYPALANIE

Piec BTU

Profil wypalania

0

1 0

2 0

3 0

4 0

5 0

6 0

0

2 0 0

4 0 0

6 0 0

8 0 0

1 0 0 0

Te

m

pe

ra

tu

ra

[°

C

]

c z a s [m in ]

1 0 m i n

s z y b k o ś ć n a r o s tu t e m p .

s z y b k o ś ć s c h ła d z a n ia

2 0 m in

3 0 m in

8 5 0 ° C

3 0 0 ° C - 5 0 0 ° C

7 0 0 ° C - 3 0 0 ° C

~ 5 0 ° C / m i n

~ 5 0 ° C / m i n

> 8 0 0 ° C

> 6 0 0 ° C

grubość, pory = f (T)

0

2 0

4 0

6 0

8 0

1 0 0

1 2 0

5 0 0

6 0 0

7 0 0

8 0 0

9 0 0

a

d

r e l

d

r e l

[% ]

a

b

V

p

V

p

T [ ° C ]

f

Grubość warstwy

a )

b )

c )

po nadrukowaniu

po wysuszeniu

po wypaleniu

Etapy

wytwarzania

PODŁOŻA

OBUDOWA

TEST

CIĘCIE

MONTAŻ

KOREKCJA

WYPALANIE

SUSZENIE

SITODRUK

SITA

PROJEKT

PASTY

KOREKCJA

Rozkład rezystancji

a)po wypaleniu
b) po korekcji

Rodzaje korekcji

korektor piaskowy

korektor laserowy

Rodzaje korekcji

Rodzaje korekcji

Korektor piaskowy

Korektor piaskowy

strumień proszku korundowego
ciśnienie powietrza: 6 at
średnica dyszy: 300÷500 μm

ZALETY:

- cena

- prostota

WADY:

- szybkość

- jakość nacięcia

Korektor laserowy

Korektor laserowy

laser: Nd-YAG (1064 nm)
moc: 5÷10 W
średnica wiązki: 15 ÷80 μm

ZALETY:

- szybkość

- jakość nacięcia

WADY:

- cena

Korekcja piaskowa

Korekcja laserowa

im p u ls y la s e r a

c z a s

c z ę ś ć w s p ó ln a n a c ię ć

s z e r o k o ś ć

w ią z k i

a )

b )

la s e r

u k ła d o p ty c z n y

lu s tr o y

lu s tr o x

s o c z e w k a

z w ie r c ia d ło

p ó łp r z e p u s z c z a ln e

u k ła d

g r u b o w a r s tw o w y

k a m e r a tv

lu b

m ik r o s k o p

Korekcja laserowa

Korekcja laserowa

Rozkład potencjału Rozkład gęstości mocy

Etapy

wytwarzania

PODŁOŻA

OBUDOWA

TEST

CIĘCIE

MONTAŻ

KOREKCJA

WYPALANIE

SUSZENIE

SITODRUK

SITA

PROJEKT

PASTY

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

Plan wykładu:

Plan wykładu:

1. Informacje ogólne

1. Informacje ogólne

2.

2.

Etapy wytwarzania

Etapy wytwarzania

3. Układy wysokotemperaturowe

3. Układy wysokotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

(polimerowe)

(polimerowe)

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

(LTCC)

(LTCC)

Budowa

warstwy

Informacj

e

podstawo

we

R-v R-T

R-v perkolacja

R-T

R = f (T)

TWR = f (T)

R - T

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

Plan wykładu:

Plan wykładu:

1. Informacje ogólne

1. Informacje ogólne

2.

2.

Etapy wytwarzania

Etapy wytwarzania

3. Układy wysokotemperaturowe

3. Układy wysokotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

(polimerowe)

(polimerowe)

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

(LTCC)

(LTCC)

Układy niskotemperaturowe

Układy niskotemperaturowe

(polimerowe)

(polimerowe)

Skład past polimerowych

Skład past polimerowych

Właściwości typowych polimerowych

Właściwości typowych polimerowych

warstw grubych

warstw grubych

Przykłady zastosowań polimerowych

Przykłady zastosowań polimerowych

warstw grubych

warstw grubych

Układy polimerowe

Skład past polimerowych

Faza nośna

podłoża, nanoszenie, utwardzanie

Elementy elektroluminescencyjne

Elementy elektroluminescencyjne

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

TECHNOLOGIA GRUBOWARSTWOWA

Plan wykładu:

Plan wykładu:

1. Informacje ogólne

1. Informacje ogólne

2.

2.

Etapy wytwarzania

Etapy wytwarzania

3. Układy wysokotemperaturowe

3. Układy wysokotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

4. Układy niskotemperaturowe

(polimerowe)

(polimerowe)

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

5. Układy wielowarstwowe typu MCM

(LTCC)

(LTCC)