Spektroskopia Auger’a
Spektroskopia Auger’a
Proces Auger’a
Zależność wydajności procesu Auger’a
i emisji promieniowania X od liczby atomowej
Zależność wydajności promieniowania
X od energii wiązania elektronu
Auger- pierwiastki
Porównanie spektroskopii Auger’a i XPS
LEED (1)
Dyfrakcja elektronów powolnych
Davisson i Germer: doświadczalne obserwacje zjawiska dyfrakcji elektronów –
potwierdzenie równania Schrödingera i jednoczesna
konfirmacja równania de Broglie’a.
Energia cząstek dla długości fali 1Å
elektron: 150 eV
foton: 12,4 eV
neutron: 0,08 eV
LEED (2)
LEED-przykłady (3)
SEM
Secondary Electron Microscopy
Mikroskopia Elektronów Wtórnych
Zdjęcie HREM kryształu CdTe
SEM
Zdjęcia struktur polimerowych
Membrana polipropylenowa
Krystality PANI na powierzchni membrany
ISS
Ion Scattering Spectroscopy
Spektroskopia Rozpraszania Jonów
2
2
/
1
2
2
2
2
1
sin
cos
o
s
s
o
o
o
M
M
M
M
M
E
E
E
o
, M
o
+
+
E
1
, M
o
M
o
- He, Ne, Ar
E
o
- (200-5000)eV
ISS -czułość
ISS- przykładowe wyniki
SIMS
gdzie: A=2,4, B=80, C- stała równa dla wszystkich pierwiastków,
n- ilość zerwanych wiązań, X- elektroujemność.
S zależy od;
stopnia utlenienia, pracy wyjścia elektronu,
potencjału jonizacji, masy jonów, kąta wybicia
jonu, temperatury, energii jonów, efektów
`
neutralizacyjnych, kinetyki jonizacji, stabilności
wybitych jonów.
2
/
exp
X
nM
B
I
CA
S
s
M
o
- He, Ne, Ar
E
o
- (200-10000)eV
Secondary Ion Mass Spectroscopy
Spektroskopia Masowa Jonów Wtórnych
M
o
+
+
M
s
SIMS- czułość
S zależy od;
stopnia utlenienia
pracy wyjścia elektronu,
potencjału jonizacji
masy jonów
kąta wybicia jonu
Temperatury
energii jonów
efektów neutralizacyjnych
kinetyki jonizacji
stabilności wybitych jonów.
1,0
0,3
0,1
0,03
S
det
0 10 26 100 130
M
Wykres zależność czułości detektora
MS, S
det
, od masy atomowej dla jonów
gazów szlachetnych oraz metali
SIMS – przykłady wyników
Analiza powierzchni Si (100)
Analiza krzyształu Si(100) na głębokości 6 Å
Porównanie wyników otrzymanych
technikami SIMS i ISS
(Powierzchnia Au zanieczyszczona Cr
2
O
3
)
Porównanie technik ex situ
xx
11