background image

Techniki próżniowe 

(ex situ)

background image

Oddziaływanie promieniowania X z materią

rearrangement

X-ray

photon

photoelectron

X-ray

emission

Auger

electron

a) photoemission

b) rearrangement

c) Auger/X-ray emission

a)

Absorbcja energii promieniowania X prowadzi do emisji elektronu z powłoki wewnętrznej zwanego 
fotoelektronem.  Energia wyemitowanego fotoelektronu jest proporcjonalne do energii 
promieniowania X.

b)

Następuje przejście elektronu z wyższych powłok do powłoki wewnętrznej.

c)

Wydziela się nadmiar energii, który zostaje zużyty na emisję elektronu z wyższego poziomu, zwanego 
elektronem Auger’a, lub energia ta jest wyemitowana jako fotony X, zwane fluorescencją 
rentgenowską
. Energia elektronu Auger’a jest niezależna od  promieniowania X. 

background image

XPS

background image

Informacje zawarte w energii fotoelektronu

Energia fotoelektronu jest zależna od zajmowanej powłoki, oraz od chemicznego 

sąsiedztwa

Elektron wewnętrzny- wysoka 
energia wiązania, duża gęstość 
elektronowa

Elektron walencyjny-
niska energia wiązania, 
mała gęstość elektronowa

Energia wyemitowanego fotoelektronu zawiera informacje wynikające z sąsiedztwa, 
czyli informacje o stopniu utlenienia,  a więc i rodzaju wiązań chemicznych

background image

Przesunięcia chemiczne

X-ray: h

E

B

I

I = E

M

- E

M

+

Teoremat Koopmana:

I = E

B,K 

- 

K

Obliczenia metodą Hartree-Fock’a
wykazują przesunięcie o około 30 eV ?

1. Orbitale w M

+

nie są takie same jak w M; reorganizują się, 

r

2. Elektron porusza się w zależności od innych elektronów, 

jest korelacja ruchu, 

c

.

3. Energie orbitali podlegają efektowi relatywistycznemu, 

rel

.

E

B,K 

= -

K

-

r

- 

c

- 

rel

Dzięki dyskutowanym różnicom było możliwe
zastosowanie techniki XPS do badania stopnia 
utlenienia, oraz do badania różnic energii 
wiązania związanych z sąsiednimi atomami.

background image

Zastosowanie przesunięć chemicznych

-4

0

4

8

-4

0

4

8

Stopień utlenienia

P

rz

es

u

n

ci

ch

em

ic

zn

/e

V

158

162

166

170

-1

0

1

2

Ładunek

E

n

er

g

ia

 w

za

n

ia

 2

p

 /

eV

Zmiana energii wiązania e

-

orbitalu 1s

siarki w zależności od stopnia utlenienia

Zmiana energii wiązania e

-

orbitalu 2p

siarki w organicznych i nieorganicznych 

związkach siarki

Dane z pracy: Siegbahn, et al., Nova Acta R. Soc.Sci.Upsaliensis, Ser. IV, 20 (1967) 5

background image

Budowa i tryby pracy spektrometru XPS

Schemat spektrometru XPS

background image

Co-axial charge
Neutraliser

Magnetic lens

Iris

Aperture

Spektrometr XPS AXIS

Za zgodą Kratos Co

background image

Zależność en. od powłoki

background image

Widma pierwiastków i Au

background image

Typical binding energies  for C 1s photoemission peaks from organic materials

functional group

binding energy (eV)

hydrocarbon

C-H, C-C

285.0

amine

C-N

286.0

alcohol, ether

C-O-H, C-O-C

286.5

fluorocarbon

C-F

287.8

carbonyl

C=O

288.0

2F bound to a carbon

-CH2CF2-

290.6

3F bound to a carbon

-CF3

293-294

Typical chemical shifts for O 1s photoemission peaks from organic materials

functional group

binding energy (eV)

carbonyl

-C=O, O-C=O

532.2

alcohol, ether

-O-H, O-C-O

532.8

ester

C-O-C=O

533.7

background image

Widma związków O-C

background image

Organika-nieorganika

background image

Związki heteroorganiczne

background image

Analiza głębokościowa

Film TiN/SiO

2

na Si

Badania głębokościowe powinny dostarczyć informacji o grubościach warstw 

oraz o ich stanie chemicznym. 

TiN

SiO

2

Si

Sposoby badań głębokościowych:

1. Badania zmienno kątowe.
2. Badania połączone z trawieniem powierzchni.

background image

Kątowe badania głębokościowe SiO

2

/Si

0 deg.

60 deg.

45 deg.

75 deg.

Si

SiO

2

Surface sensitive

Bulk 
sensitive

SiO

2

SiO

2

SiO

2

Si

Si

Si

background image

Profile głębokościowe umożliwiają 
uzyskanie pełnej informacji chemicznej 
oraz tej dotyczącej grubości warstw

Analiza głębokościowa

Film TiN/SiO

2

na Si

TiN

SiO

2

Si

SiO

2

Si

background image

Przykład analizy

Pt

background image

Zależność od głębokości

background image

Układ podwójnej detekcji

Outer hemisphere 

of HSA

Charge neutraliser

Spherical  mirror analyser (SMA)

Hemispherical  analyser (HSA)

Magnetic lens

Sample

Selected area aperture

Objective lens

Delayline detector

Retarding 
projector
lens

L

a

te

r

a

l r

e

so
lu

ti

o

n

 to

 

<

2

m

I

1

I

2

Za zgodą Kratos Co

background image

Równoczesne obrazowanie i spektroskopia

CF

3

CF

2

CC,CH

CO,CN

CC,CH

CO,CN

Za zgodą Kratos Co

background image

Neutralizacja ładunku 

Powierzchnia 
nie rozładowana

X-ray

Działo
elektronowe

Powierzchnia próbki

Sposób standardowy

Powierzchnia próbki

Działo
elektronowe

X-ray

Sposób optymalny

Za zgodą Kratos Co

background image

200 microns

800 microns

C 1s spectrum from wood fibres

Neutralizacja ładunku 

Włókna drewna w pulpie papierniczej. 
Substancja wyjątkowo trudna do neutralizacji 
ładunku ( wysoka oporność i struktura gąbki)
Zastosowanie nowoczesnej przestrzennej 
techniki neutralizacji ładunku umożliwia 
otrzymanie widma XPS o bardzo dobrej 
rozdzielczości.

Za zgodą Kratos Co

background image

Poliester

Rozdzielczość 0,6 eV

background image

Analiza powierzchni polimeru: Poly(ethylene tetraphthalate) - PET 

Rozróżnienie sąsiedztwa chemicznego

-(-

O

-

C

-

-

C

-

O

-

C

H

2

-

C

H

2

-)-

=

=

1

O

O

1

n

2

2

2

3

3

2

1

O 1s region

O(1) 530.8eV  49 at% 
O(2) 532.1eV  53 at%

C(1) 285.0eV  61 at%
C(2) 286.5eV  21 at%
C(3) 289.2eV  18 at%

C3

C2

C1

O1

O2

C 1s region

background image

Spektroskopia 

XPS 

wysokiej rozdzielczości 

elektronów walencyjnych

C 1s region

Trudność: 

na orbitach walencyjnych gęstość 

elektronowa  jest bardzo mała- mniejsze 
prawdopodobieństwo oddziaływań, czyli 
wielokrotnie mniejsza intensywność sygnału.

Rozwiązanie: 

stosowanie soczewek 

magnetycznych, monochromatycznego źródła 
promieniowania X, oraz wysokoczułych 
detektorów.

Przykład: 

3 stereo izomery PBMA 

(polybutylmethacrylate) mają te same wzory 
strukturalne, ale różnią się chemicznie ze 
względu na konformację związaną z rotacją 
wokół wiązania pojedynczego.

Wynik analizy XPS: 

Spektra elektronów 

wewnętrznych C 1s nie wykazują żadnej 
różnicy pomiędzy izomerami.

Spektra elektronów walencyjnych pokazują 
wyraźne różnice pomiędzy izomerami. 
Technika XPS elektronów walencyjnych może 
więc służyć jako unikalna metoda do 
identyfikacji związków chemicznych, a jej 
wyniki  mogą być przyjęte jako „odciski 
palców” danych związków.