Mikroukłady
grubowarstwowe
Minimalna szerokość
ścieżki............................0,005”
minimalny odstęp między
ścieżkami................0,005”
Maksymalna grubość warstwy
przewodzącej...0,010”
Grubości podłoży:
• ceramicznych.............................0,010-
0,050”
•aluminiowych..............................0,010-
0,075”
•miedzianych.................................
•organicznych................................0,010-
0,075”
Systemy grubowarstwowe
na podłożu
ceramicznym:
96%Al
2
O
3
AlN
metalicznym:
Al-anodyzowane Cu-passywowane
organicznym:
FR4
cermetowe
-
przewodzą
ce
cermetowe
-
rezystywne
polimerow
e
W
yp
a
ł:
W
a
rs
tw
y:
powietrze, azot
powietrze,
T
max
<400
o
C
polimerowe
Utwardzanie
nisko-
temperaturowe
<200
o
C
Systemy grubowarstwowe
System azotowy
System powietrzny
System polimerowy
System polimerowy na
anodyzowanym alumnium
Zalety podłoża ceramicznego
Rezystory grubowarstwowe
•Polimerowe 10 - 100 k/ ±300 ppm/K
•rutenianowe 10 - 10 M/ ±50 ppm/K
•z azotku tantalu 10- 1 k/ ±100 ppm/K
•z tlenku cyny 1k-3 M/ ±150 ppm/K
•miedziowo-niklowe 40 m
/ ±100 ppm/K
Parametry rezystorów (KITRON)
Warstwy przewodzące
Miedź 2,0 m/
Złoto 2,5 m/
Pt-Ag 3 m/
Pd-Ag 20 m/
Srebro 3,7 m/
Warstwy izolacyjne i pojemnościowe