background image

 

 

 
 
 
 
 

ĆWICZENIE 7 F 

 
 
 
 
 
 

Temat ćwiczenia: 
 
BADANIE PRZEWODNOŚCI WŁAŚCIWEJ PÓŁPRZEWODNIKÓW 
 
 
 
 
 

Cel ćwiczenia: 

-

 

poznanie podstawowych wielkości charakteryzujących 
materiały półprzewodnikowe 

-

 

poznanie sposobu pomiaru tych wielkości 

■ 

background image

 

 

BADANIE WŁASNOŚCI ELEKTRYCZNYCH MATERIAŁÓW 

PÓŁPRZEWODNIKOWYCH 

 

7 F. BADANIE PRZEWODNOŚCI WŁAŚCIWEJ PÓŁPRZEWODNIKÓW 

 

Cel ćwiczenia: 

 

-

 

poznanie podstawowych wielkości charakteryzujących materiały 
półprzewodnikowe 

-

 

poznanie sposobu pomiaru tych wielkości 

 

Program ćwiczenia: 

-

 

wyznaczenie zależności konduktywności półprzewodnika od temperatury 

-

 

wykreślenie charakterystyki ln 

γγγγ

 = f( 1 /T) 

-

 

obliczenie szerokości pasma zabronionego 

 

1. Wiadomości teoretyczne. 
 

1.1 Ogólna charakterystyka półprzewodników 

Materiały półprzewodnikowe charakteryzują się wartością rezystywności pośrednią, między 

rezystywnością metali ~ 10

-6

 -

÷

 10

-4

 

cm ), a rezystywnością materiałów elektroizolacyjnych ( ~ 

10

8

 

÷

 10

16

 

cm ). Ich energia aktywacji jest zazwyczaj < 2eV. Mogą to być materiały składające 

się  z  atomów  jednego  rodzaju  (półprzewodniki  elementarne),  albo  związki  półprzewodnikowe 
składające  się  z  dwu  lub  więcej  rodzajów  atomów.  Do  grupy  półprzewodników 
elementarnych zalicza się 12 pierwiastków rozmieszczonych w grupach od III do VII układu 
okresowego (B, C, Si, P, S, Ge, As, Se, Sn, Sb, Te, J). Drugą grupę półprzewodników stanowią 
liczne  związki  nieorganiczne  i  organiczne,  wśród  których  najlepiej  zbadano  dotychczas 
związki pierwiastków III i V grupy oznaczone symbolem A

3

B

5

 np. GaP, GaAs. 

Półprzewodniki  chemicznie  czyste  nazywamy  półprzewodnikami  samoistnymi.  W praktyce 
bardzo  ważną  rolę  odgrywają  półprzewodniki  zawierające  celowo  wprowadzone  atomy  obce. 
Półprzewodniki takie nazywamy niesamoistnymi lub domieszkowymi. 
 
 

Półprzewodniki samoistne 

 

 

W półprzewodniku samoistnym temperaturze 0 K pasmo walencyjne jest zapełnione 

całkowicie,  pasmo  przewodnictwa  -  całkowicie  puste.  Ze  wzrostem  temperatury  na  skutek 
wzbudzeń  termicznych  część  elektronów  przechodzi  z  pasma  walencyjnego  do  pasma 
przewodnictwa, pozostawiając w paśmie walencyjnym taką samą liczbę dziur. Oznaczając przez 
n koncentracje elektronów, a przez p koncentrację dziur, możemy zapisać: 
 

n=p=n

i

 

(1) 

gdzie n

i

 jest koncentracją nośników w półprzewodniku samoistnym.  

ąd! n=∫g(E) f(E)dE 

background image

 

 

 

Rys. 1. Model pasmowy półprzewodnika samoistnego 

a) zapełnienie pasma walencyjnego i pasma przewodnictwa w temperaturze 0 K 

b) i c) funkcja gęstości stanów 

d) rozkład Fermiego dla elektronów w paśmie walencyjnym 

e) koncentracja elektronów w paśmie przewodnictwa i dziur w paśmie podstawowym 

 
 

Z  teorii  pasmowej  ciała  stałego  wynika,  że  elektron  atomu  znajdującego  się  w  sieci 

krystalicznej  może  mieć  tylko  pewne  określone  wartości  energii.  W warunkach  równowagi 
termicznej  prawdopodobieństwo  obsadzenia  przez  elektron  poziomu  energetycznego  
o energii określane jest funkcją Fermiego-Diraca f

n

 

 

kT

E

E

E

E

n

F

kT

F

e

e

E

f

+

=

1

1

)

(

 

(2) 

gdzie: E

F

 - energia Fermiego  

k - stała Boltzmana 
- temperatura bezwzględna 

Funkcja rozkładu obsadzenia poziomów f(E) określa prawdopodobieństwo tego, że poziom 
(stan) o energii jest zajęty przez elektron, a wartość funkcji 1-f(E), że poziom (stan) jest 
wolny, czyli jest to prawdopodobieństwo obsadzenia poziomu przez dziurę. 
Koncentrację  elektronów  w  paśmie  przewodnictwa  i  koncentrację  dziur  w paśmie 
walencyjnym można wyznaczyć korzystając z zależności: 

 

dE

E

R

E

f

n

n

E

p

)

(

)

(

=

  

(3,4) 

 

[

]

dE

E

R

E

f

p

p

E

w

)

(

)

(

1

0

=

 

gdzie: R

n

 (E) i R

p

(E)- funkcja gęstości stanów, 

E

p

 - energia dna pasma przewodnictwa, 

E

w

 - energia wierzchołka pasma walencyjnego 

przy czym szerokość pasma zabronionego E

g

=E

p

-E

w 

(5) 

Całkowitą  liczbę  elektronów  w  jednostce  objętości  (koncentrację  elektronów)  otrzymujemy 
całkując  wyrażenie  po  całej  szerokości  pasma  przewodnictwa.  Dolna  granica  całkowania  jest 
równa  dolnej  krawędzi  pasma  przewodnictwa.  Górna  granica  może  być  natomiast 

p=∫g(E) [1-f(E)]dE 
 

E

E

a) 

b) 

c) 

d) 

e) 

g(E) 

f(E) 

n=∫g(E) f(E)dE 
 

en

er

g

ia

 

background image

 

 

przesunięta  do  nieskończoności,  gdyż  funkcja  wykładnicza  szybko  zanika  ze  wzrostem  E. 
Fizycznie  oznacza  to,  że  prawdopodobieństwo  obsadzenia  przez  elektron  najwyższych 
poziomów jest praktycznie równe zeru. Elektrony skupione są w wąskim przedziale w pobliżu 
dna pasma przewodnictwa. 

Rozkład  koncentracji  stanów  w  pobliżu  dna  pasma  przewodnictwa  jest  określony 
zależnością: 

 

2

1

2

3

3

)

(

)

2

(

4

)

(

p

n

E

E

m

h

E

R

n

=

π

 

(6) 

a w pobliżu wierzchołka pasma walencyjnego, zależnością: 

 

2

1

2

3

3

)

(

)

2

(

4

)

(

E

E

m

h

E

R

w

p

p

=

π

 

(7) 

gdzie: h- stała Plancka 

m

n

 i m

p

 - masy efektywne elektronu i dziury. 

Uwzględniając przedstawione powyżej rozważania, oraz przyjmując, że poziom Fermiego 

przebiega dokładnie pośrodku pasma zabronionego 

,

2

G

F

E

E

=

  

koncentrację nośników samoistnych można wyznaczyć z następującej zależności: 

 

)

2

(

kT

E

g

Ae

p

n

=

=

  

(8) 

przy  czym  stała  A  -  efektywna  gęstość  stanów  w  paśmie  przewodnictwa  lub  w paśmie 
walencyjnym zawiera stałe uniwersalne oraz masę efektywną nośnika. 

 

2

3

3

)

2

(

2

kT

m

h

A

n

π

=

  

(9)  

Podstawiając stałe do wzoru (9) odpowiednie wartości otrzymujemy: 

 

]

[

)

(

10

82

,

4

3

2

3

2

3

21

=

m

T

m

m

A

n

 

(10) 

gdzie: m oznacza masę elektronu swobodnego. 

 

Rys.2 Rozkłady koncentracji stanów w paśmie przewodnictwa i w paśmie walencyjnym 

 

W półprzewodniku masy efektywne elektronów i dziur nie są równe i z reguły m

p

m

n

 i dlatego 

[1-f(E)]R

n

(E) 

T>OK 

f(E)R

n

(E) 

R

n

(E)’ 

E

E

d

 

E

F

 

E

1,0 f(E) 
 

0,5 

odległość 

background image

 

 

też  poziom  Fermiego  w  półprzewodniku  samoistnym  jest  położony  nieco  bliżej  pasma 
przewodnictwa,  a  przy  wzroście  temperatury  przesuwa  się  w  górę.  W  ogólnym  przypadku, 
położenie poziomu Fermiego wyznacza się przy założeniu, że całkowita liczba elektronów w 
krysztale powinna być stała (tzw. zasada neutralności ładunku półprzewodnika. 

W  szczególnym  przypadku,  dla  półprzewodnika  samoistnego,  poziom  Fermiego  można 
wyznaczyć korzystając z równości koncentracji elektronów i dziur ze wzoru: 

 

n

p

g

p

m

m

kT

E

E

4

3

2

+

=

   

( l 1 )  

 

Półprzewodniki domieszkowe 

W  praktycznym  zastosowaniu  bardzo  ważną  role  odgrywają  półprzewodniki 

domieszkowe  tzn.  półprzewodniki  zawierające  celowo  wprowadzone  atomy  obce. 
Domieszkowanie w sposób istotny wpływa na własności elektryczne półprzewodników. Skutki 
wprowadzania  domieszki  do  półprzewodnika  samoistnego  omówione  zostaną  na  przykładzie 
domieszek  w  postaci  pięciowartościowych  atomów  arsenu  i  trójwartościowych  atomów 
indu  wprowadzonych  do  germanu.  German  posiada  strukturę  diamentu,  w  której  każdy  z 
czterech elektronów walencyjnych bierze udział w jednym z czterech wiązań z najbliższymi 
sąsiadami. Jeśli teraz pięciowartościowy atom arsenu zastąpi w sieci atom germanu, to cztery 
pięciu  elektronów  walencyjnych  biorą  udział  w  wiązaniu.  Pozostały  piąty  elektron  nie 
uczestniczy  w  wiązaniu  i  jest  związany  z dodatnim  polem  domieszki  siłami 
kulombowskimi.  Siły  te  są  jednak  bardzo  małe,  gdyż  oddziaływania  występują  w  ośrodku  o 
przenikalności elektrycznej 

ε

Energia wiązania elektronu z atomem maleje 

ε

’ razy, a promień 

orbity zwiększa się 

ε

-krotnie. Dla germanu 

ε

 = 16, energia jonizacji domieszki jest 16

2

 razy 

mniejszy niż energia jonizacji atomu swobodnego i jest rzędu setnych części elektronowolta. Pod 
względem  struktury  pasmowej  istnienie  domieszki  o  bardzo  malej  energii  jonizacji  oznacza 
pojawienie się dodatkowego poziomu w obszarze przerwy energetycznej, leżącego blisko dna 
pasma  przewodnictwa.  Energię  tego  poziomu  będziemy  oznaczać  E

d

.  Energia  jonizacji 

domieszki  E =   E

p

-  E

d

.  Dostarczenie  do  elektronów  energii  jonizacji  E

j

,  powoduje  ich 

przejście  do  pasma  przewodnictwa.  Powstałe  jony  domieszki  są  nieruchome  i  nie 
uczestniczą  w  przewodnictwie  elektrycznym.  Tego  rodzaju  domieszki  nazywamy 
donorami, a wnoszone przez nie poziomy - poziomami donorowymi. Ze względu na małą 
wartość energii jonizacji, znacznie łatwiej otrzymać elektrony pochodzące od domieszki niż 
nośniki samoistne. Dominować będzie w takim półprzewodniku przewodnictwo elektronowe. 
Mówimy  też,  że  elektrony  są  nośnikami  większościowymi,  a  dziury  -mniejszościowymi. 
Półprzewodniki takie nazywamy półprzewodnikami typu n 

Rozpatrzmy teraz przypadek, kiedy w węźle sieci germanu znajduje się atom trójwartościowy 
np. ind. Wówczas jedno z wiązań pozostaje niewysycone, gdyż atom taki ma o jeden elektron 
mniej  niż  atom  germanu.  Wiązanie  to  może  być  uzupełnione  dowolnym  elektronem  z  innego 
atomu  germanu.  Przejście  takie  wymaga  bardzo  niewielkiej  energii.  Pod  względem  struktury 
pasmowej  oznacza  to  pojawienie  się  dodatkowego  poziomu  energetycznego  F

a

  leżącego  blisko 

wierzchołka  pasma  walencyjnego.  Ze  względu  na  niewielką  wartość  energii  potrzebnej  do 
wysycenia  wiązania  proces  ten  występuje  już  w  bardzo  niskich  temperaturach.  Elektron,  który 
wysycił  wiązanie  w  atomie  domieszki,  zostawił  jednocześnie  po  sobie  dziurę  w  tym  węźle. 
Miejsce  to  może  zająć  nowy  elektron.  W  rezultacie  takich  procesów  dziura  będzie 

background image

 

 

przemieszczać  się  w  kierunku  przeciwnym  względem  kierunku  ruchu  elektronu.  W  ujęciu 
struktury  pasmowej  oznacza  to  pojawienie  się  dziury  w  paśmie  walencyjnym.  Jednocześnie 
elektrony  związane  z  atomami  domieszki  tracą  możliwość  przemieszczania się. Domieszki tego 
typu nazywamy akceptorami, a wnoszone poziomy - poziomami akceptorowymi. Półprzewodniki 
takie  nazywamy  półprzewodnikami  typu  p.  Nośnikami  większościowymi  będą  w  tym 
przypadku dziury, a mniejszościowymi - elektrony. Typowe wartości koncentracji domieszek 
zawierają  się  w  przedziale  (10

22

 

÷

  10

25

)m

3

.  Wyznaczymy  koncentrację  nośników  i  położenie 

poziomu Fermiego w półprzewodniku domieszkowym. Weźmy pod uwagę półprzewodnik typu n
Elektrony w paśmie przewodnictwa będą występować na skutek przejść poziom donorowy - 
pasmo  przewodnictwa  i  pasmo  walencyjne  -  pasmo  przewodnictwa.  Koncentrację  domieszki 
donorowej  oznaczymy  N

d

  ,  a  energia  jonizacji  E

j

=E

p

–E

d

  .  Można  zapisać,  że  koncentracja 

elektronów swobodnych wynosi:  

 

p

N

n

d

+

=

+

  

(12) 

gdzie:  

+

d

N

 jest koncentracją zjonizowanych domieszek,  

 p  -  koncentracją  dziur  w paśmie  walencyjnym,  która  równa  jest  koncentracji  elektronów  w 
paśmie przewodnictwa powstałych na skutek jonizacji materiału podstawowego.  
Ponieważ  energia  jonizacji  domieszek  jest  znacznie  niniejsza  od  szerokości  przerwy 
energetycznej,  można  przyjąć,  że  w  niskich  temperaturach  wystąpi  tylko  jonizacja  termiczna 
domieszek.  Ze  wzrostem  temperatury  istotnego  znaczenia  będzie  nabierała  jonizacja  atomów 
materiału podstawowego. Można zatem wyróżnić dwa obszary temperatur: 
-

 

temperatury niskie, w których 

d

N

n

 

-

 

temperatury wysokie, w których 

p

N

n

d

+

=

 

W  obszarze  niskich  temperatur  (w  pobliżu  zera  bezwzględnego),  w  którym  kT=E

g

  można 

zaniedbać  generowanie  cieplne  nośników  z  pasma  walencyjnego  .  Dla  tego  obszaru 
temperatury, koncentracja nośników jest określona zależnościami:  

=

kT

E

d

e

AT

n

2

2

3

 

(13, 14) 





=

kT

E

p

e

BT

p

2

2

3

 

 

gdzie: B - stałe zależne m.in. od koncentracji domieszek, 

 

 

 E

d

 E

n

 - energie jonizacji donorów i akceptorów.  

 

 

 

W miarę wzrostu temperatury położenie poziomu Fermiego coraz bardziej zbliża się do 

ś

rodka  pasma  zabronionego.  Po  całkowitym  wyczerpaniu  się  domieszek,  koncentracja 

swobodnych nośników jest równa koncentracji domieszek. W obszarze wyższych temperatur 
półprzewodnik  przechodzi  w  stan  samoistny.  Temperatura  T

i

,  w  której  następuje  przejście 

półprzewodnika  domieszkowego  w  stan  przewodnictwa  samoistnego,  jest  górną  granica 
obszaru  nasycenia.  Temperatura  ta  jest  tym  wyższa,  im  większa  jest  koncentracja 
domieszki i większa szerokość pasma zabronionego.  
 
 
 

background image

 

 

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rys.3. Temperaturowa zależność położenia poziomu Fermiego w półprzewodniku domieszkowanym - typu n. 

 

Przed  przystąpieniem  do  omówienia  przewodnictwa  elektrycznego  przewodników 

przeanalizujemy jeszcze temperaturową zależność ruchliwości nośników w półprzewodniku. 
Ruchliwość nośników możemy zdefiniować jako iloraz ich średniej prędkości dryfu w kierunku 
przeciwnym do pola elektrycznego i natężenia pola, które ten dryf wywołało. 

  

E

V

d

=

µ

  

(15) 

Tor  ruchu  nośnika  pod  wpływem  pola  kierunkach

o  jest  określony  zderzeniami  z innymi 

kierunkach sieci krystalicznej i ma postać linii łamanej złożonej  z szeregu  odcinków  prostych  o 
różnych długościach i kierunkach. 

 

Ś

rednia  długość  takiego  odcinka  jest  średnia  drogą  swobodna,  średni  czas  jaki  upłynął 

między  kolejnymi  zderzeniami  nazywamy  średnim  czasem  życia  nośnika.  Wyrażenie 
określające ruchliwość możemy zapisać w postaci: 

 

ν

τ

µ

Λ

=

=

m

e

m

e

 

 (16) 

gdzie: m- masa nośnika, 

Λ

średnia droga swobodnego przebiegu,  

ν

 - średnia prędkość nośników. 

 

Wartość  średniej  drogi  swobodnej  jest  uwarunkowana  mechanizmami  rozpraszania. 

Podobnie  jak  w  metalach,  również  w  półprzewodnikach  dominują  dwa  mechanizmy 
rozproszeń:  rozpraszanie  na  fononach  i rozpraszanie  na  zjonizowanych  domieszkach. 
Pierwszy  mechanizm  odgrywa  decydującą  rolę  w  temperaturach  powyżej  100-150  K,  kiedy 
koncentracja fononów jest duża, drugi natomiast w niskich temperaturach. W obszarze niskich 
temperatur  sieć  krystaliczna  jest  zbliżona  do  idealnej,  gdyż  amplituda  drgań  cieplnych  jest 
małą,  a  więc  fale  reprezentujące  ruchy  nośników  rozprzestrzeniają  się  w  ośrodku  o  prawie 
doskonałej  periodyczności.  Ośrodek  taki  prawie  nie  rozprasza  fal  elektronowych  i  drogę 
swobodną  ograniczają  tylko  wymiary  kryształu.  Zatem  w  tym  obszarze  temperatury  nie 
występuje  rozpraszanie  elektronów  przez  drgania  cieplne  sieci.  Odstępstwo  od  doskonałości 
sieci, a więc atomy domieszek i defekty sieci są centrami rozpraszającymi fale elektronowe. W 
kryształach  o  dużej  liczbie  domieszek  zderzenia  elektronów  z  centrami  są  częstsze  i  średnia 
droga  swobodna  jest  krótsza.  W  zakresie  niskich  temperatur  droga  ta  jest  proporcjonalna 
do kwadratu temperatury bezwzględnej, zatem ruchliwość 

 

µ

2

3

T

 

(17) 

 T

j

 

E

E

T

 E

background image

 

 

 

W temperaturach wyższych decydującą rolę zaczyna odgrywać rozpraszanie na fononach. 

W  temperaturach  tych  atomy  sieci  są  odchylone  od  swoich  położeń  równowagi  i  zakłócają 
symetrię  sieci,  przez  co  stają  się  centrami  rozpraszającymi.  W  obszarze  wyższych 
temperatur  droga  swobodna  jest  odwrotnie  proporcjonalna  do  temperatury  bezwzględnej  
i praktycznie nie zależy od koncentracji domieszek. Zatem ruchliwość 

 

2

3

T

µ

    

(18) 

 

 

Rys.4. Zależność ruchliwości nośników od temperatury w półprzewodniku domieszkowanym 

 

Przewodnictwo elektryczne półprzewodników 

Znajomość koncentracji i ruchliwości nośników pozwoli omówić przewodnictwo elektryczne 
półprzewodników.  Biorąc  pod  uwagę  fakt,  że  w półprzewodnikach  transport  ładunku  jest 
spowodowany zarówno elektronami jak i dziurami, przewodność właściwa wyrazi się wzorem: 
 

(

)

p

n

p

n

e

µ

µ

γ

+

=

  

(19) 

gdzie: 
n

µ

n

, p, 

µ

jest odpowiednio koncentracją i ruchliwością elektronów i dziur. 

Typowa  zależność  przewodnictwa  elektrycznego  półprzewodników  domieszkowanych  od 
temperatury w skali półlogarytmicznej przedstawiona jest na rysunku 
 

 

Rys. 5. Zależność konduktywności półprzewodnika domieszkowanego od temperatury. 

W  obszarze  niskich  temperatur  koncentracja  nośników  określona  jest  równaniem  (13)  i 

(14), a ich rozpraszanie odbywa się na domieszkach 

2

3

T

µ

 

µ

 

mała koncentracja 
domieszek 

duża koncentracja 
domieszek 

2

3

T

µ

 

2

3

T

µ

 

ln

γ

 

1/T 

α

α

background image

 

 

Zatem konduktywność materiału półprzewodnikowego w tym obszarze jest określona 
zależnością: 

 

=

kT

E

d

d

e

2

0

γ

γ

 

 (20) 

gdzie: 

γ

0

 - współczynnik stały dla danego półprzewodnika.  

 
Logarytmując powyższą zależność otrzymujemy równanie odcinka ab charakterystyki 
przedstawionej na rys. 5. 

 

kT

E

d

d

2

ln

ln

0

=

γ

γ

  

(21) 

przy czym 

k

E

tg

d

d

2

=

α

 jest współczynnikiem kierunkowym tego odcinka. 

W obszarze wyczerpywania się domieszek wszystkie domieszki biorą udział w przewodnictwie, 
lecz nie występuje jeszcze zauważalne generowanie cieplne nośników samoistnych. W 
obszarze tym koncentracja nośników jest stała i dlatego też zależność konduktywności od 
temperatury jest określona wpływem temperatury na ruchliwość nośników. Zwykle w tym 
obszarze występuje już rozpraszanie na fononach i ruchliwość, a co się z tym wiąże 
konduktywność nieznacznie maleje (odcinek bc)  

W  obszarze  wyższych  temperatur  półprzewodnik  charakteryzuje  się  przewodnictwem 
samoistnym.  Przy  założeniu,  że  rozpraszanie  nośników  odbywa  się  na  drganiach  cieplnych 
sieci, równanie konduktywności 

tym obszarze ma następującą postać: 

 

)

2

(

0

kT

E

s

g

e

=

γ

γ

 

(22) 

lub w skali pół logarytmicznej 

 

kT

E

g

s

2

ln

ln

0

=

γ

γ

 

(23) 

przy czym tg kąta nachylenia odcinka cd wynosi 

 

tg

k

E

g

s

2

=

α

 

(24) 

Możemy  zauważyć,  że  znając  zależność  konduktywności  półprzewodnika  w obszarze 
samoistnym  w  funkcji  temperatury  można  wyznaczyć  szerokość  pasma  zabronionego  E

g

 

badanego materiału. 

W  zasadzie  wyznaczanie  konduktywności  materiału  półprzewodnikowego  przeprowadza  się 
takimi  samymi  metodami,  jak  w  przypadku  metali.  Głównymi  źródłami  błędów  przy 
pomiarach  konduktywności  półprzewodników są zjawiska kontaktowe, powstające między 
metalowymi  elektrodami,  a  materiałem  badanym.  Kontakty  te  są  z  reguły  nieomowe  i  mają 
właściwości prostownicze. Oprócz tego rezystancje kontaktów mogą być znacznie  większe 
od rezystancji samej próbki, co może spowodować dodatkowo błędy pomiaru. Uzyskanie 
prawidłowych  wyników  badania  materiałów  półprzewodnikowych  zależy  od  opanowania 
techniki  sporządzania  styków

  (najlepiej  omowych).  Styki  takie  powinny  charakteryzować  się 

prostoliniową charakterystyką prądowo - napięciową przy możliwie jak najmniejszym oporze 
kontaktu.  Styk

  omowy  nie  powinien  zmieniać  własności  ani  pod  wpływem  temperatury,  ani 

pod wpływem ciśnienia, jak również światła i innych czynników zewnętrznych. 
Przy  sporządzaniu  styków  metal  -  półprzewodnik  należy  przestrzegać  kilku  najbardziej 

background image

 

 

elementarnych  reguł,  celem  wyeliminowania  najpoważniejszych  błędów.  Należy  znać  przede 
wszystkim typ przewodnictwa półprzewodnika. W półprzewodnikach typu należy dobierać 
metale o małej pracy wyjścia

a w przypadku półprzewodnika typu o dużej pracy wyjścia. 

Następnym  warunkiem  jest  przygotowanie  powierzchni  próbki  materiału 

w  miejscu 

przeznaczonym  do  styku.  Miejsce  to

  powinno  być  oszlifowane.  Pozwala  to  silnie  zakłócić 

strukturę  kryształu  w  miejscu  styku  z  elektrodą  celem  zwiększenia  do  maksimum 
rekombinacji  nośników  mniejszościowych,

  gdyby  te  dostały  się  z  metalu  do  półprzewodnika. 

Ogranicza  się  w  ten  sposób  obszar  ewentualnie  naruszonej  równowagi  do  warstwy 
przykontaktowej.  Istotnym  jest  również  bezpośredni  styk  metalu  z  półprzewodnikiem,  a  nie 
styk przez warstwę np. tlenkową. Poza własnościami elektrycznymi istnieje cały szereg innych 
własności fizyko-chemicznych, które winien posiadać użyteczny do celów pomiarowych styk. 
Chodzi  tu  głównie  o  procesy  dyfuzyjne,  w  wyniku

  których  obcy  materiał  może  wpływać  na 

własności  warstwy  przykontaktowej

  półprzewodnika  Zmiany  takie  mogą  występować 

szczególnie  w  wysokich  temperaturach,  na  przykład  przy  badaniu  współczynnika 
temperaturowego  przewodnictwa,  ruchliwości  itp.  Inną  ważną  cechą  kontaktu  jest  jego 
wytrzymałość  mechaniczna  w  różnych  temperaturach.  Styki  nadające  się  do  użycia  w 
temperaturze pokojowej nie zawsze mogą być przydatne w temperaturach wysokich, jak np. 
elektrody indowe. 

Technika  sporządzania  styków  została  bardzo  rozwinięta,  tak  że  dysponuje  się  wieloma 
sposobami  ich  wytwarzania.  Do  najważniejszych  sposobów  dołączania  elektrod 
metalicznych do półprzewodników należą:  
dociskanie,  lutowanie,  wtapianie,  osadzanie  elektrolityczne,  osadzanie  chemiczne, 
napylanie próżniowe, spawanie, nanoszenie past i wypalanie

 ich, metody termokompresyjne. 

Układ  pomiarowy  oparty  o  wykorzystanie  metody  czterosondowej  (rys.6)  pozwala  na 
wyeliminowanie

  wpływu  nieomowych  kontaktów  na  dokładność  pomiaru.  Przy  założeniu 

równomiernego pola  przepływowego  w próbce, konduktywność  materiału  można  wyznaczyć  z 
zależności: 

 

S

l

U

I

=

γ

 

(25)

 

gdzie:  -  prąd płynący przez próbkę, 

U - napięcie między sondami napięciowymi, 

- odległość między ostrzami sond napięciowych, 

S - przekrój poprzeczny próbki. 
 

 
 
 
 
 
 
 
 

Rys.6. Zasada pomiaru konduktywności półprzewodników.  

 S

1

, S

2

 - styki prądowe ; S

3

, S

4

 - sondy napięciowe 

S

S

S

S

próbka 

background image

 

 

2. Wykonanie ćwiczenia 
 
2.1 

Rodzaj i wymiary badanych 

materiałów 

 
Próbka A: Si typ n

 

długość próbki 

a = 40   mm 

szerokość próbki 

b = 15,5 mm 

grubość próbki 

d = 0,5  mm 

odl. el. napięciowych

  l = 12,7  mm 

Próbka B: Ge typ n

 

długość próbki 

a

 = 30    mm 

szerokość próbki 

b = 8,8  mm 

grubość próbki 

d = 0,7  mm 

odl. el. napięciowych 1 = 13,4 mm 
 

2.2 

Schemat układu pomiarowego  

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rys.7 Schemat układu pomiarowego 

E - źródło napięcia stałego, 

mA - miliamperomierz, 

mV - miliwoltomierz, 

P - próbka materiału półprzewodnikowego, 

S

1

, S

2

 - napięciowe sondy ostrzowe  

S

3

, S

- styki prądowe, 

K - komora grzejna, 

T – termometr 

mV 

S

S

1

 

S

S

mA 

 

background image

 

 

 

2.3 Przebieg badań

 

1.

 

Połączyć układ jak na rys.7. 

2.

 

Ustalić wartość prądu w obwodzie (próbki połączone szeregowo) I=10 mA 

3.

 

Włączyć  ogrzewanie  komory  i  wykonać  pomiary  w  zakresie  temperatur

 

od 30°C do 130°C. Wyniki zamieścić w tabeli. 

4.

 

Obliczyć konduktywności poszczególnych próbek. 

5.

 

Wykreślić  wykres  ln

γ

  w  funkcji  1000/T  dla  obydwu  próbek  materiałów 

półprzewodnikowych. 

6.

 

Wyznaczyć  szerokość  pasma  zabronionego  dla  tego  materiału,  który  w zakresie 
badanych 

temperatur 

charakteryzuje 

się 

przewodnictwem 

samoistnym, 

wykorzystując do tego wykreśloną charakterystykę ln

γ

(1000/T).

 

 
2.4 Wyniki pomiarów i obliczeń

 

Próbka A 

.

Lp

 

I

 

1

U

 

2

U

 

ś

r

U

t

 

T

/

1000

 

γ

 

 

mA

 

mV

 

mV

 

mV

 

0

C

 

K

-1

 

S/m

 

1

 



15

 

 

 

 

 

 

 

 

Próbka B

 

.

Lp

 

I

 

1

U

 

2

U

 

ś

r

U

t

 

T

/

1000

 

γ

 

 

mA

 

mV

 

mV

 

mV

 

0

C

 

K

-1

 

S/m

 

1

 



15

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Przykłady obliczeń:

 

 
konduktywność materiału półprzewodnikowego 

    

γ

=…………. 

szerokość pasma zabronionego                              E

g

=………….

 

2.5 Dyskusja wyników pomiarów i obliczeń. Wnioski.