Ćwiczenie T3 _PTW 

 

Nowoczesne półprzewodnikowe laboratorium technologiczne – 

infrastruktura i aparatura technologiczna 

 

INSTRUKCJA DO ĆWICZENIA LABORATORYJNEGO 

 

 
prowadzący: dr inż. Beata Ściana, ul. Długa 61, bud. M-11, p. 139,  
e-mail: Beata.Sciana@pwr.edu.pl 

 

1.  Cel ćwiczenia: 



 

Zapoznanie  się  z  wymogami  nowoczesnego  półprzewodnikowego  laboratorium 
technologicznego  na  przykładzie  Laboratorium  Nanotechnologii  i  Struktur 
Półprzewodnikowych  Wydziałowego  Zakładu  Mikroelektroniki  i  Nanotechnologii 
(cleanroom w bud. M-11): 



 

zaznajomienie  się  z  podstawowymi  wymogami  czystych  pomieszczeń  dla  technologii 
półprzewodnikowej (ang. cleanroom), 



 

poznanie  infrastruktury  niezbędnej  do  funkcjonowania  nowoczesnego  półprzewo-
dnikowego  laboratorium  technologicznego  (klimatyzacja,  systemy  pozyskiwania  wody 
spektralnie  czystej,  aparatura  do  wytwarzania  azotu  i  wodoru  na  poziomie  czystości 
półprzewodnikowej,  urządzenia  kontrolujące  parametry  powietrza  w laboratorium 
i czystość gazów technologicznych, systemy bezpieczeństwa, urządzenia do neutralizacji 
niebezpiecznych  związków,  systemy  wody  chłodzącej  oraz  sprężonego  powietrza 
i podciśnienia, 



 

zaznajomienie  się  z  podstawowymi  zasadami  pracy  osób  w  cleenroom-ie  (odzież 
ochronna, bezpieczeństwo). 

2.  Przebieg ćwiczenia: 



  Zapoznanie się z infrastrukturą umieszczoną poza cleanroom-em: 

- 

generator azotu (rozprężanie ciekłego azotu), 

- 

generator wodoru (elektroliza wody), 

- 

oczyszczalniki azotu i wodoru, 

- 

klimatyzator, 

- 

neutralizator gazów poreakcyjnych, 

- 

podstawowe instalacje (wodne, elektryczne, gazowe). 



  Zapoznanie się z pomieszczeniami i urządzeniami w obrębie cleenroom-u: 

- 

system bezpieczeństwa, 

- 

aparatura technologiczna i pomiarowa, 

- 

główna hala technologiczna, laboratorium chemiczne, pomieszczenie do fotolitografii, 

3.  Pomiary: 

- 

pomiar  zapylenia  powietrza  i  ocena  klasy  czystości  w  głównej  hali  technologicznej, 
pracowni  fotolitografii,  pod  komorą  laminarną  (pomiar  pyłków  o  średnicy  ≥ 0,3µm, 
≥ 0,5µm,  ≥ 5,0µm  w  stopie  sześciennej  -  licznik  cząstek  Aerotrak  9303  firmy  TSI 
z aktualną homologacją), 

- 

ocena wpływu obecności człowieka na czystość w obrębie cleanroom-u, 

- 

pomiar  parametrów  wody  spektralnie  czystej  (rezystywność 



,  parametr  TOC)  na 

wyjściu z filtra końcowego urządzenia Millipore Milli-Q Integral 15. 

4.  Scenariusz zajęć (łączny czas wykonania ćwiczenia 135 minnut): 



 

(40 min, sala dydaktyczna) wstęp teoretyczny do zajęć: przedstawienie tematyki zajęć, 
omówienie  podstawowych  zagadnień  związanych  z  wymogami  i  funkcjonowaniem 
nowoczesnego półprzewodnikowego laboratorium technologicznego, 



 

(35  min,  pomieszczenia  poza  cleanroom-em)  prezentacja  podstawowej  infrastruktury, 
niezbędnej  do  funkcjonowania  nowoczesnego  półprzewodnikowego  laboratorium 
technologicznego, 



 

(40  min, cleanroom)  zapoznanie się z zasadami postępowania osób  przed wejściem  do 
cleanroom-u  (odzież  ochronna,  korzystanie  ze  śluzy)  oraz  podczas  przebywania 
w obrębie  cleanroom-u,  prezentacja  aparatury  i  pomieszczeń  w  cleanroom-ie,  pomiar 
zapylenia powietrza i czystości wody spektralnie czystej, 



 

(20 min, sala dydaktyczna) podsumowanie zajęć i kartkówka. 

5.  Literatura 

Wykłady, PTW, prof. dr hab. inż. Reginy Paszkiewicz 
http://www.cleanroom.com.pl [stan na 26.02.2015] 
http://pl.wikipedia.org/wiki/Clean_room [stan na 26.02.2015] 
http://www.lumexpol.pl [stan na 26.02.2015] 
http://www.intech.eu [stan na 26.02.2015] 
http://www.air-liquide.pl [stan na 26.02.2015]