F2-18 

Struktury technologiczne inwertera CMOS 

 

 

 

 

 

a – z jamą 

p

 – struktura klasyczna 

 

b – z jamą 

n

 – struktura ulepszona, 

      kompatybilność technologii NMOS/CMOS 

 

c – z jamami 

p

 i 

n

 – struktura najnowsza, 

     niezależna optymalizacja profili domieszkowania, 

     największa szybkość i gęstość scalenia

 

© J. Kalisz, WAT, 2006