1
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
„Mikro- i nanotechnologie”
„2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci
w procesach mikro- i nanotechnologii”
Prezentacja jest współfinansowana przez
Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
„Innowacyjna dydaktyka bez ogranicze
ń
- zintegrowany rozwój Politechniki Łódzkiej -
zarz
ą
dzanie Uczelni
ą
, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolno
ś
ci do
zatrudniania osób niepełnosprawnych”
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie
„Mikro- i nanotechnologie”
„2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci
w procesach mikro- i nanotechnologii”
Prezentacja jest współfinansowana przez
Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
„Innowacyjna dydaktyka bez ogranicze
ń
- zintegrowany rozwój Politechniki Łódzkiej -
zarz
ą
dzanie Uczelni
ą
, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolno
ś
ci do
zatrudniania osób niepełnosprawnych”
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie
Politechnika Łódzka, ul.
Ż
eromskiego 116, 90-924 Łód
ź
, tel. (042) 631 28 83
www.kapitalludzki.p.lodz.pl
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
2
Czynniki wpływaj
ą
ce na procesy technologiczne
Czynniki wpływaj
ą
ce na procesy technologiczne
•
Zanieczyszczenie powietrza drobinami
•
Skład powietrza
•
Ci
ś
nienie
•
Temperatura i wilgotno
ść
•
Poziom hałasu i wibracji
•
Pole elektromagnetyczne
•
Pole elektrostatyczne
Clean-room:
pełna kontrola warunków wytwarzania struktur
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
3
- pojedyncze molekuły
- zanieczyszczenia powierzchniowe
- zanieczyszczenia pyłowe
Rodzaje zanieczyszcze
ń
Rodzaje zanieczyszcze
ń
2
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
4
- gazowanie (np. podczas stygni
ę
cia)
- pary oleju (np. z pomp dyfuzyjnych)
- alkohol
- farby, kleje,
ż
ywice
- substancje aromatyczne (obecno
ść
wyczuwalnego
zapachu jest równoznaczna z obecno
ś
ci
ą
cz
ą
stek
zanieczyszczaj
ą
cych)
Ź
ródła zanieczyszcze
ń
molekularnych
Ź
ródła zanieczyszcze
ń
molekularnych
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
5
- odciski palców
- pot
- kremy do r
ą
k, twarzy
- puder
-
ś
rodki czyszcz
ą
ce
- oleje i smary
- wosk
Ź
ródła zanieczyszcze
ń
powierzchniowych
Ź
ródła zanieczyszcze
ń
powierzchniowych
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
6
- ludzie (skóra, włosy, oddech, włókna z odzie
ż
y)
- materiały generuj
ą
ce pył (tekturowe pudełka, papier)
- obróbka mechaniczna materiałów (wiercenie, ci
ę
cie,
polerowanie)
- przedmioty z niezabezpieczonego drewna
Ź
ródła zanieczyszcze
ń
pyłowych
Ź
ródła zanieczyszcze
ń
pyłowych
3
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
7
Wi
ę
kszo
ść
zanieczyszcze
ń
jest zbyt mała,
aby mo
ż
na je zaobserwowa
ć
okiem nieuzbrojonym.
Rozmiary zanieczyszcze
ń
Rozmiary zanieczyszcze
ń
włos ludzki (100µm)
krytyczne
zanieczyszczenie
w clean-roomie
(0,5µm)
najmniejsza cz
ą
stka
widoczna okiem
nieuzbrojonym
(50µm)
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
8
Rodzaje i rozmiary zanieczyszcze
ń
Rodzaje i rozmiary zanieczyszcze
ń
0,001 0,01 0,1 1 10 100
mikrometry
dym i pył przemysłowy
pył atmosferyczny
atomy i cz
ą
steczki
bakterie
dym papierosowy
wirusy
cz
ą
stki
widoczne
pyłki kwiatów
dym z kalafonii
ił
muł
pigment farb
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
9
Zanieczyszczenia wywołane aktywno
ś
ci
ą
człowieka
Zanieczyszczenia wywołane aktywno
ś
ci
ą
człowieka
Rodzaj aktywno
ś
ci
Generacja
cz
ą
stek*
Stanie / siedzenie w bezruchu
100 000
Ruch głow
ą
, dłoni
ą
500 000
Ruch tułowiem, nog
ą
1 000 000
Przej
ś
cie z pozycji siedz
ą
cej do stoj
ą
cej
2 500 000
Chodzenie
do 10 000 000
* cz
ą
stki o rozmiarze powy
ż
ej 0,3µm
4
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
10
Zanieczyszczenia wywołane aktywno
ś
ci
ą
człowieka
Zanieczyszczenia wywołane aktywno
ś
ci
ą
człowieka
Rozmiar
zanieczyszcze
ń
Kichanie
Kasłanie
do 1µm
800 000
66 000
1 - 2 µm
686 000
21 000
2 - 4 µm
280 000
1 600
4 - 8 µm
134 000
1 290
8 - 16 µm
36 000
490
powy
ż
ej 16 µm
4 500
85
Razem:
1 940 000
90 765
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
11
Przykłady zanieczyszcze
ń
Przykłady zanieczyszcze
ń
• Nawet najczystsze, górskie
powietrze zawiera w 1 m
3
około 1
miliona ró
ż
norodnych
zanieczyszcze
ń
o rozmiarach
powy
ż
ej 1 µm
• Obiekty o rozmiarach poni
ż
ej 10µm:
zamiast grawitacji dominuje
elektrostatyka
• Dla struktur o wymiarze rz
ę
du 1 µm
ka
ż
de zanieczyszczenie o
porównywalnych rozmiarach jest
kataklizmem!
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
12
Przykłady zanieczyszcze
ń
Przykłady zanieczyszcze
ń
Czerwone krwinki na module
pami
ę
ci 1Mbit
Paj
ę
czyna na module
pami
ę
ci 256k DRAM
5
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
13
Przykłady zanieczyszcze
ń
Przykłady zanieczyszcze
ń
• włosy
• skóra
• oddech
• włókna pochodzące z ubrań
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
14
Przykłady zanieczyszcze
ń
Przykłady zanieczyszcze
ń
Włos na module pami
ę
ci:
256kbit
4Mbit
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
15
Przykłady zanieczyszcze
ń
Przykłady zanieczyszcze
ń
Kropla aluminium
Zanieczyszczenie pochodzenia
biologicznego
6
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
16
Definicja klasy czysto
ś
ci clean-roomu
Definicja klasy czysto
ś
ci clean-roomu
Clean-room klasy (n) jest zdefiniowany jako pomieszczenie,
w którym powietrze zawiera nie wi
ę
cej ni
ż
(n) cz
ą
stek
zanieczyszcze
ń
o rozmiarze równym lub wi
ę
kszym od 0,5µm
w jednej stopie sze
ś
ciennej
gdzie n = 10 000, 1000, 100, itd.
Standardy stosowane na
ś
wiecie:
USA:
FED STD 209E (1992)
Japonia:
B9920
(1989)
Australia:
AS1386
(1989)
Francja:
X44101
(1981)
Wlk. Brytania:
BS5295
(1989)
Niemcy:
VDI2083
(1990)
Rosja:
Gost–R50766
(1995)
zast
ą
pione norm
ą
mi
ę
dzynarodow
ą
ISO 14644-1 (1997)
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
17
Klasyfikacja wg norm ameryka
ń
skich
Klasyfikacja wg norm ameryka
ń
skich
wymiar zanieczyszcze
ń
[
µµµµ
m]
Klasa
0,1
0,2
0,3
0,5
5,0
1
35
7,5
3
1
NA
10
350
75
30
10
NA
100
NA
750
300
100
NA
1 000
NA
NA
NA
1 000
7
10 000
NA
NA
NA
10 000
70
100 000
NA
NA
NA
100 000
700
Przykładowa klasyfikacja wg norm ameryka
ń
skich
FED STD 209E
obowi
ą
zuj
ą
cych do roku 2001
(ilo
ść
zanieczyszcze
ń
w 1 stopie sze
ś
ciennej):
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
18
Normy ISO dotycz
ą
ce pomieszcze
ń
clean-room
Normy ISO dotycz
ą
ce pomieszcze
ń
clean-room
Standard
Nazwa
ISO-14644-1
Klasyfikacja czysto
ś
ci powietrza
ISO-14644-2
Zasady kontroli czysto
ś
ci powietrza
ISO-14644-3
Metody okre
ś
lania i pomiarów czysto
ś
ci powietrza
ISO-14644-4
Projektowanie i budowa
ISO-14644-5
Zasady pracy i działania
ISO-14644-6
Poj
ę
cia, definicje, jednostki miar
ISO-14644-7
Inne, niezale
ż
ne od cleanroom’u urz
ą
dzenia
ISO-14644-8
Zanieczyszczenia i ska
ż
enia
ISO-14698-1
Biozanieczyszczenia: generalne zasady post
ę
powania
ISO-14698-2
Biozanieczyszczenia: okre
ś
lanie zanieczyszcze
ń
ISO-14698-3
Biozanieczyszczenia: pomiar efektywno
ś
ci urz
ą
dze
ń
czyszcz
ą
cych
7
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
19
Normy ISO
Normy ISO
Klasa
Liczba drobin w 1 m
3
powietrza
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5 um
1 um
5 um
ISO 1
10
2
ISO 2
10
2
24
10
4
ISO 3
10
3
2.37*10
2
1.02*10
2
35
8
ISO 4
10
4
2.37*10
3
1.02*10
3
3.52 *10
2
83
ISO 5
10
5
2.37*10
4
1.02*10
4
3.52 *10
3
8.32 *10
2
29
ISO 6
10
6
2.37*10
5
1.02*10
5
3.52 *10
4
8.32 *10
3
2.93 *10
2
ISO 7
3.52 *10
5
8.32 *10
4
2.93 *10
3
ISO 8
3.52 *10
6
8.32 *10
5
2.93 *10
4
ISO 9
3.52 *10
7
8.32 *10
6
2.93 *10
5
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
20
Porównanie norm ISO i FED
Porównanie norm ISO i FED
ISO 14644-1 (1997)
FED STD 209E (1992)
Klasa ISO
Jedn. angielskie
Jedn. metryczne
1
2
3
1
M1.5
4
10
M2.5
5
100
M3.5
6
1 000
M4.5
7
10 000
M5.5
8
100 000
M6.5
9
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
21
Wymiar charakterystyczny a klasa czysto
ś
ci
Wymiar charakterystyczny a klasa czysto
ś
ci
Rok
1980
1984
1987
1990
1993
1996
1999
2000
Wymiar
charakterystyczny
2um
1.5um
1um
0.8um
0.5um
0.35um
0.25um
0,13um
Powierzchnia
układu
0.3cm
2
0.4cm
2
0.5cm
2
0.9cm
2
1.4cm
2
2.0cm
2
3.0cm
2
>4cm
2
Liczba procesów
100
150
200
300
400
500
600
>700
Klasa czysto
ś
ci
ISO 8
ISO 7
ISO 6
ISO 5
ISO 4
ISO 3
ISO 2
ISO 1
Krytyczny rozmiar
zanieczyszczenia
0.12um
0.09um
0.05um
0.03um
0.02um
Krytyczny rozmiar
defektu
0.27um
0.18um
0.1um
0.06u
0.03um
8
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
22
Koncepcja pomieszczenia typu clean-room
Koncepcja pomieszczenia typu clean-room
•
ci
ą
gła, wielostopniowa filtracja
wtłaczanego powietrza pocz
ą
wszy od
filtrów wst
ę
pnych po filtry HEPA (High
Efficiency Air Filters) b
ą
d
ź
ULPA (Ultre
Low Penetration Air)
•
stałe nadci
ś
nienie wewn
ą
trz
pomieszcze
ń
(ok. 30Pa) – brak
mo
ż
liwo
ś
ci przedostawania si
ę
zanieczyszcze
ń
z zewn
ą
trz
•
ś
luza wej
ś
ciowa
•
w celu utrzymania stałego składu
atmosfery dodawane jest od 2 do 10%
ś
wie
ż
ego powietrza
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
23
Filtry
Filtry
•
HEPA (High Efficiency
Air Filters) –
skuteczno
ść
do 99.97%
dla cz
ą
stek > 0,3µm
•
ULPA (Ultre Low
Penetration Air) –
skuteczno
ść
do
99,9995% dla cz
ą
stek
> 0,12 µm
http://en.wikipedia.org/wiki/HEPA
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
24
Niezale
ż
nie od pory roku i pory dnia:
• temperatura 22 ± 0.1 ºC w pomieszczeniach
litografii i pomiarowych, 22 ± 0.5 ºC w
pozostałych pomieszczeniach
• wilgotno
ść
43% ± 2% w pomieszczeniach
litografii i pomiarowych, 43% ± 5% w
pozostałych pomieszczeniach
Parametry powietrza w clean-roomie
Parametry powietrza w clean-roomie
9
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
25
•
Poziom hałasu ograniczony do poziomu nie
przekraczaj
ą
cego 60 dB.
•
Wibracje z zakresu 8 – 100 Hz nie powinny
przekracza
ć
3µm/s
•
Ekranowanie całego pomieszczenia i stref wewn
ą
trz na
zasadzie klatki Faraday’a
•
Eliminacja ryzyka powstania niebezpiecznego pola
elektrostatycznego poprzez uziemianie maszyn,
kontrol
ę
wilgotno
ś
ci, system jonizacji powietrza oraz
wykorzystanie przewodz
ą
cych materiałów do
konstrukcji laboratorium.
Pozostałe parametry
Pozostałe parametry
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
26
Instalacje w clean-roomie
Instalacje w clean-roomie
• System oczyszczania powietrza
• System zasilania oraz chłodzenia urz
ą
dze
ń
• Zasilanie w wod
ę
zimn
ą
(14…18 ºC)
• Zasilanie w wod
ę
gor
ą
c
ą
(~70 ºC)
• System dejonizacji wody (rezystywno
ść
powy
ż
ej 16M
Ω
)
• System doprowadzaj
ą
cy czyste odczynniki płynne (m.in. gazy
technologiczne o czysto
ś
ci >5N)
• System odprowadzania i neutralizacji zu
ż
ytych odczynników
płynnych (gazy, ciecze po procesach produkcyjnych)
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
27
Turbulentny przepływ powietrza
Turbulentny przepływ powietrza
ź
ródło: Cleanroom Design, W. W hyte, J. W iley 2001
10
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
28
Laminarny przepływ powietrza
Laminarny przepływ powietrza
ź
ródło: Cleanroom Design, W. W hyte, J. W iley 2001
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
29
Lokalne podwy
ż
szenie czysto
ś
ci
Lokalne podwy
ż
szenie czysto
ś
ci
ź
ródło: Cleanroom Design, W. W hyte, J. W iley 2001
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
30
Lokalne podwy
ż
szenie czysto
ś
ci
Lokalne podwy
ż
szenie czysto
ś
ci
ź
ródło: Cleanroom Design, W. W hyte, J. W iley 2001
11
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
31
Clean-room – szczegóły pomieszcze
ń
Clean-room – szczegóły pomieszcze
ń
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
32
Strefa biała i szara
Strefa biała i szara
Strefa biała jest obszarem o założonej
czystości – jej powierzchnia jest ograniczana do
niezbędnego minimum ze względów
ekonomicznych
Strefa „szara” wokół clean-roomu obejmuje
zaplecze techniczne: urządzenia wspomagające,
elementy urządzeń technologicznych,
instalacje wodne, powietrzne itp.
Ś
luza wejściowa umożliwia zakładanie ubioru
ochronnego i zabezpiecza przed
zanieczyszczeniem laboratorium podczas wejść i
wyjść personelu
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
33
Clean-room - przekrój
Clean-room - przekrój
Clean-room klasy ISO3 (Siemens)
12
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
34
Clean-room – strefa szara
Clean-room – strefa szara
System pomp
Instalacja wodna
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
35
System dejonizacji wody
System dejonizacji wody
•
Oczyszczanie wody dla potrzeb mikrotechnologii:
•
uzdatnianie wst
ę
pne, filtr mechaniczny 50
µ
m (1,2)
•
odwrócona osmoza (3-11)
•
moduł elektrodejonizacji z komor
ą
UV (12)
•
cela konduktometryczna (13)
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
36
Ubranie ochronne
Ubranie ochronne
- wykonywane z poliestru (bez „kłaczków’), z nici
ą
przewodz
ą
c
ą
- dopasowane do wzrostu / wagi
- przykrywaj
ą
ce maksymaln
ą
powierzchni
ę
ciała
- wyposa
ż
one w
ś
ci
ą
gacze na ko
ń
cach r
ę
kawów,
nogawek
- bez kieszeni, pasków
- kolejno
ść
zakładania: kombinezon - ochraniacze
obuwia - nakrycie głowy - maska twarzowa –
okulary – r
ę
kawice
- tylko do u
ż
ytku w clean-roomie
(zakładanie/zdejmowanie w odpowiednim
pomieszczeniu)
13
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
37
Ubranie ochronne
Ubranie ochronne
http://www.ee.byu.edu/cleanroom/gowning.phtml?gowning-see-all=true
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
38
•
Wej
ś
cie tylko w prawidłowo zało
ż
onym kombinezonie ochronnym
•
Zakaz picia, jedzenia,
ż
ucia gumy, palenia papierosów
•
Zakaz noszenia ozdób (naszyjniki, pier
ś
cionki), u
ż
ywania niektórych
kosmetyków
•
Ograniczenie wykonywania szybkich ruchów
•
Nie zakłócanie obiegu powietrza (np. poprzez nieprzemy
ś
lane
zastawienie nawiewów/wyci
ą
gów)
•
Minimalizacja ilo
ś
ci materiałów przechowywanych w clean-romie
•
Zakaz u
ż
ywania ołówków, gumek, przedmiotów z drewna, zwykłego
papieru, styropianu, wszelkiego rodzaju materiałów sproszkowanych
Zasady pracy w clean-roomie
Zasady pracy w clean-roomie
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
39
Stosowane materiały
Stosowane materiały
Sufity,
ś
ciany,
podłogi, ubrania:
• antyelektrostatyczne
• bezpyłowe
• o gładkiej powierzchni
Elementy stykaj
ą
ce si
ę
z płytkami:
• kwarc, polikrzem (wysokie temperatury)
• teflon (mycie, trawienie)
• polerowana stal nierdzewna (p
ę
sety
elementy ci
ś
nieniowe, pró
ż
niowe, blaty)
14
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci w
procesach mikro- inanotechnologii
40
Skutki obecno
ś
ci zanieczyszcze
ń
w mikrotechnologii
Skutki obecno
ś
ci zanieczyszcze
ń
w mikrotechnologii
Dyslokacje
powierzchniow
e
Przestrzenne
zaburzenia
sieci
Defekty
punktowe
Wtr
ą
cenia
Wtr
ą
cenie
(metal)
Wywołane
zaburzenie
sieci
• Dyslokacje, zaburzenia
przestrzenne – zwarcia zł
ą
czy p-n,
zaburzenia przepływu no
ś
ników
ładunku
• Wtr
ą
cenia, defekty punktowe –
skracanie czasu
ż
ycia no
ś
ników
mniejszo
ś
ciowych i degradacja
charakterystyk przyrz
ą
dów
• Pojedyncze wtr
ą
cenia w wyniku
powtarzanych wielokrotnie cykli
termicznych mog
ą
powodowa
ć
rozległe defekty przestrzenne
• Atomy metali (Fe, Ni, Cr, Cu, Au,
Pt) na powierzchni – m.in.
degradacja obszarów bramkowych
tranzystorów MOS
Projekt współfinansowany przez Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
Politechnika Łódzka, ul.
Ż
eromskiego 116, 90-924 Łód
ź
, tel. (042) 631 28 83
www.kapitalludzki.p.lodz.pl
„Mikro- i nanotechnologie”
„2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci
w procesach mikro- i nanotechnologii”
Prezentacja jest współfinansowana przez
Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
„Innowacyjna dydaktyka bez ogranicze
ń
- zintegrowany rozwój Politechniki Łódzkiej -
zarz
ą
dzanie Uczelni
ą
, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolno
ś
ci do
zatrudniania osób niepełnosprawnych”
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie
„Mikro- i nanotechnologie”
„2. Zagadnienia utrzymania czysto
ś
ci
w procesach mikro- i nanotechnologii”
Prezentacja jest współfinansowana przez
Uni
ę
Europejsk
ą
w ramach
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
„Innowacyjna dydaktyka bez ogranicze
ń
- zintegrowany rozwój Politechniki Łódzkiej -
zarz
ą
dzanie Uczelni
ą
, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolno
ś
ci do
zatrudniania osób niepełnosprawnych”
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie