MEMS – POJĘCIA PODSTAWOWE

 

Miniaturized combinations of:

Optics, Electronics and Mechanics

from the specialized technology fields of:

MicroElectroMechanical Systems (MEMS)
MicroOptoElectroMechanical Systems (MOEMS)

Wymiary MEMS/MOEMS

Technologie wytwarzania MEMS

Technologie wytwarzania MEMS

Proces wytwarzania MEMS

Podstawowe technologie MEMS

Materiały technologii MEMS

Procesy technologiczne odwzorowania kształtów

Techniki litograficzne

Technologia „surface micromachining”

Procesy technologiczne, w wyniku których 

powstają nowe warstwy

Trawienie

Trawienie suche

Trawienie suche

Trawienie mokre

Trawienie anizotropowe

Trawienie anizotropowe

Procesy trawienia

Przykład procesu technologicznego czujnika ciśnienia

*

*

*

*DMD-Digital Micro Device